伴隨著晶體(ti) 矽太陽能電池產(chan) 業(ye) 的穩步發展，激光一直被認為(wei) 是提高電池質量和降低製造成本的重要工具。激光加工在諸如激光燒蝕電極（LFC）、激光刻槽掩埋柵電極（LGBC）、以及M/EWT等應用增長顯著，目前在晶體(ti) 矽太陽能電池製造中應用最廣泛的激光工藝之一是激光邊緣絕緣處理。

c-Si電池製造過程中N型離子摻雜/擴散到P型矽基體(ti) 形成微米級的N型摻雜膜層，這個(ge) 膜層包圍了整個(ge) 晶圓片，從(cong) 而造成了電池前後兩(liang) 麵電極的分流，為(wei) 了避免分流就必須對電池邊緣進行絕緣化處理。

典型的激光邊緣絕緣化處理是通過在盡可能靠近太陽能電池外緣的周圍進行刻劃溝槽來實現。為(wei) 了獲得最佳的絕緣效果，溝槽的深度必須大於(yu) 離子擴散層，典型的溝槽深度為(wei) 10-20um，寬度為(wei) 20-40um。盡管Spectra-Physics激光器產(chan) 品中有眾(zhong) 多型號能勝任絕緣處理工作，但是加工速度最快，質量最高的還是最新的調Q全固態激光器係列，其中首選為(wei) Pulseo 355-20。

355nm短波長，<23ns的短脈衝(chong) 寬度使得Pulseo激光器是太陽能電池絕緣化處理的理想選擇。實驗室測試證明結合高速掃描檢流技術，Pulseo 355-20在1-2秒內(nei) 可以絕緣156mm的晶圓片，集成加工設備後，有賴於(yu) 良好光學係統設計（光斑等）絕緣劃片的速度可望達到500-1000mm/sec或者更高。

由於(yu) 短的脈衝(chong) 寬度，與(yu) 355nm短波長造成的矽片作用深度淺等因素造就了Pulseo紫外激光器的高精度絕緣劃線。作為(wei) 另外的選擇532nm激光也可用於(yu) 絕緣劃線，並且同樣保持著高速度與(yu) 高質量。

對於(yu) 綠光，我們(men) 提供Pulseo 532-34，高功率的調Q激光器。當結合電流掃描儀(yi) ，既能獲得高速拐彎與(yu) 最少的燒蝕。120kHz重複頻率下極高的功率和穩定、優(you) 異的性能使其在很小的聚焦光斑下也能獲得平滑均勻的刻劃線。總之，Pulseo 532-34的短脈衝(chong) 寬度結合高峰值功率和高重複頻率帶來幹淨高效的激光絕緣化劃線效果。

太陽能電池邊緣絕緣處理推薦產(chan) 品：Pulseo激光器

Pulseo係列激光器延續了Spectra-Physics全固態調Q激光器高功率、高重複頻率的優(you) 秀品質，擁有高峰值功率、短脈寬與(yu) 嚴(yan) 格的製造標準，是高精度加工工業(ye) 應用的理想選擇。

Model	Wavelength	Peak Power	Average Power	Pulse Width	RepetitionRate(nominal)
Pulseo 532-34	532 nm	>13.5 kW	34 W	<30 ns at 120 kHz	120 kHz
Pulseo 355-20	355 nm	>10 kW	20 W	<23 ns at 100 kHz	100 kHz
Pulseo 355-10	355 nm	> 5 kW	10 W	<23 ns at 90 kHz	90 kHz