機床的最大定位偏差為(wei) 絲(si) 杆的螺距偏差及絲(si) 杆的熱收縮偏差。但如今上述的大部分偏差已被大幅度低落，機床的重要偏差轉而釀成垂直度偏差和直線度偏差。為(wei) 了到達高的機床三維空間定位精度，機床上所有的3個(ge) 位移偏差、6個(ge) 直線度偏差和3個(ge) 垂直度偏差都必需獲得丈量與(yu) 抵償(chang) 。用傳(chuan) 統的激光裝備幹與(yu) 儀(yi) 來丈量直線度和垂直度偏差是較困難並費時花錢的。凡是必要停機很多天並請求有履曆的裏手來進行丈量。
 
相較於(yu) 傳(chuan) 統激光幹與(yu) 儀(yi) 的幾天長期丈量，激光矢量丈量技能僅(jin) 需數小時便可以實現，是以，三維體(ti) 積定位偏差丈量和抵償(chang) 變得適用，並可到達更高的精度和更小的公役。
 
分步對角線丈量法子使用4條雷同的對角線設置，收集了12組數據。在丈量獲得數據的底子上，所有三個(ge) 位移偏差、六個(ge) 直線度偏差和三個(ge) 垂直度偏差都能確定。丈量獲得的定位偏差可以用來發生三維體(ti) 積抵償(chang) 表，此表可以被上傳(chuan) 到節製器以校準任何定位偏差，從(cong) 而進步了定位精度。
 
用幹與(yu) 儀(yi) 和分步對角線丈量法子隻需很少的幾回丈量就獲得了充足多的數據，可以很是明白地表現出機床的狀況。能夠很是容易地辦理一些凡是的問題，諸如裝置偏差、溫度變革引發的偏差和布局發生的問題等，並無增長裝置時間，出產(chan) 的產(chan) 物品質愈來愈好。並且，用於(yu) 三維體(ti) 積校準的分步對角線丈量必要至多7次丈量，從(cong) 這7次丈量中可領會(hui) 到大部門偏差的範例及巨細，可使用該法子來替換傳(chuan) 統儀(yi) 器在裝置線上作為(wei) 光學準直儀(yi) 、直尺和花崗石平台。
 
激光機和立體(ti) 鏡安頓在主軸和事情台上，沿每一軸X軸、Y軸、Z軸分別分步瓜代挪動，如許反複不停走到對角線的對角上。所有三個(ge) 軸每一步挪動後對角線的定位偏差就收集到了。這項技能收集了三倍的數據量，並容許可以丈量獲得每一軸挪動時的位移偏差。