激光調阻機是一種精密的激光微調設備,它通過短脈衝(chong) 激光掃描,改變電阻體(ti) 的導電截麵積,達到把低於(yu) 目標阻值的電阻體(ti) 修調到阻值允許的偏差範圍內(nei) ,適用於(yu) 片狀電阻的快速大規模生產(chan) 。它的主要構成為(wei) :一台輸出脈衝(chong) 頻率可調的調Q脈衝(chong) Nd:YAG激光器, 輸出波長為(wei) 1.06μm激光,經兩(liang) 軸偏轉後,由光學係統匯聚成25μm直徑的光斑,照射到載台上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受激光加熱氣化,形成一定深度的刻痕,從(cong) 而改變了電阻體(ti) 的導電截麵積和導電長度。
高速高精度在線電阻測量係統,測量電阻器的阻值,當阻值達到標稱值時,由電控開關(guan) 關(guan) 斷激光,完成此片式電阻的修整過程,全過程用時5-20ms。由一台X-Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調。然後,運動控製係統驅動載片台向前運動一個(ge) 行距的位置,重複上述過程完成第二行調阻,依此類推,直至調完一片。所有上述工作在一台計算機統一控製下,協調高效地進行。
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