雙方計劃攜手開發在大尺寸基材上沉積有機層材料的高效技術

全球半導體(ti) 行業(ye) 領先沉積設備供應商AIXTRON 愛思強股份有限公司與(yu) 總部位於(yu) 德國羅伊特林根城的專(zhuan) 業(ye) 設備製造商Manz 集團正式達成戰略合作。雙方將攜手研發高效能的有機二極管(OLED)生產(chan) 解決(jue) 方案，共同把握OLED 技術的未來市場機遇。

根據此項戰略合作，雙方將合作研發一套利用AIXTRON 愛思強OVPD®專(zhuan) 利工藝技術，實現在第8 代基板（尺寸為(wei) 2,300x2,500 mm²）上高效沉積有機層材料的示範係統。該套全新的示 範係統將首次向業(ye) 界展示OVPD®技術在以合理價(jia) 格大規模、高效率生產(chan) 可用於(yu) 顯示屏和照明應用的有機發光二極管方麵的優(you) 勢。

Manz 將帶來其在提純和處理大尺寸玻璃基板，以及研發和製造大型真空係統領域的豐(feng) 富經驗。 高效能的有機層材料沉積工藝被認為(wei) 是實現以經濟可行的方式生產(chan) 大尺寸OLED 設備的關(guan) 鍵， 在此次合作中，AIXTRON 愛思強將進一步發展其OVPD®工藝技術。通過合作，有望實現以卓 越的材料使用率和沉積效率生產(chan) 高度均勻的易伸縮薄膜。

新係統將於(yu) 未來幾個(ge) 月內(nei) 在AIXTRON 愛思強的潔淨室進行裝配。除了展示OVPD專(zhuan) 有工藝 和規模化生產(chan) 大尺寸基板的能力，此次合作也將著力滿足市場對新元器件的要求。降低生產(chan) 成 本和提高產(chan) 量是成功擴大OLED 技術市場滲透率的必備條件。而這要求必需推出更高效的生產(chan) 工藝和使用大尺寸的基材。