瑞士西諾瓦公司（Synova）是一家專(zhuan) 注研發水射流激光技術的公司，自1994年Laser MicroJet（LMJ）專(zhuan) 利首次注冊(ce) 認證以來，經過近30年發展，目前已在航空航天、半導體(ti) 等領域得到了一定程度的應用。相比傳(chuan) 統激光熱加工的方式，這種加工方式是將激光與(yu) 細如發絲(si) 的水射流相結合，並以類似於(yu) 傳(chuan) 統光纖的方式通過全內(nei) 反射精確引導激光束。

在水射流激光加工過程中，經過高壓噴射出的水流可以持續冷卻切割區，有效去除激光切割生成的碎屑。作為(wei) 一種“冷、清潔、可控的激光器”，LMJ技術可有效解決(jue) 傳(chuan) 統激光器加工中容易產(chan) 生的一些問題，如熱損傷(shang) 、汙染、變形、碎屑沉積、氧化、微裂紋和錐度。

百年前的工藝初探

1841年，瑞士日內(nei) 瓦大學的Daniel Colladon教授首次在學校演講廳講解基於(yu) 全內(nei) 反射稱為(wei) “光導”的光學現象。同年，他在巴黎藝術與(yu) 科學天文台展示了模型。這是世界上首次提出將光和水融合的理論。

Daniel Colladon的模型使用了電弧燈作為(wei) 光源。一個(ge) 鏡頭將光線聚焦通過水箱，並沿著從(cong) 另一側(ce) 噴出的一個(ge) 洞上再次進行聚焦。當水中光線以一定角度掃過水射流邊緣時，全內(nei) 反射將光線“困”在液體(ti) 中。光線沿著水射流的方向進行彎曲弧形反彈，直到濺入收集盤中。實際上，通過這樣一個(ge) 裝置，實現了讓光線沿著水的曲線移動。

1889年巴黎世博會(hui) 期間，這項發明首次應用在照亮噴泉上，向世人展示。180年後的今天，同樣的導光效果也發生在光纖中。作為(wei) 瑞士科學家的後人，同時也是Synova公司的創始人Bernold Richerzhagen，發明的水射流激光工藝與(yu) Colladon的實驗類似，但在水射流中使用的是激光束而不是白光，體(ti) 積小得多，壓力也更高。

後繼有人

Richerzhagen獲得德國亞(ya) 琛工業(ye) 大學機械碩士學位後，在攻讀博士學位期間獲得了一項用於(yu) 牙科應用的激光項目資助，目的是開發用於(yu) 牙科應用（去除齲齒）的激光能量傳(chuan) 輸係統。當時，Richerzhagen考慮了兩(liang) 種在激光鑽孔過程中冷卻牙齒的方法。一種是噴水，另一種是用水射流的全反射引導激光鑽孔。

最終，Richerzhagen決(jue) 定采用第二種方法，因為(wei) 水射流引導激光具有明顯的優(you) 勢：平行激光束、長焦距和快速冷卻，從(cong) 而可以避免熱損傷(shang) ，因為(wei) 牙齒周邊的神經係統對溫度變化非常敏感。他將激光束和水射流耦合的第一台原型機采用了脈衝(chong) 激光（開始用染料激光，後來用YAG紅外激光），10bar水壓，水源是去離子水，以及高壓水射流噴嘴（直徑100μm）。

該裝置基於(yu) 準靜止水流理論，以在自由水射流中實現穩定的層流。水從(cong) 腔室中持續、均勻地加速直到通過噴嘴。如圖1所示，其特點是將光學器件和水射流耦合分開，使用高質量噴嘴產(chan) 生穩定水射流。激光束再通過水室中的窗口聚焦到水射流噴嘴上，並耦合到從(cong) 噴嘴噴出的水射流中。

但實驗結果沒有達到Richerzhagen的心理預期，事實上盡管實驗計算和模擬表明所有激光束都應該通過噴嘴，但噴嘴很容易損壞。與(yu) 此同時，他也積極準備專(zhuan) 利申請（LASAG，編號FR 2 676 913，1991年5月）。之後兩(liang) 年，Richerzhagen專(zhuan) 注解決(jue) 噴嘴易損壞的問題，探究激光束沒有準確聚焦到噴嘴的實際原因。

經過研究，Richerzhagen找到了導致噴嘴損壞的症結。他發現在每個(ge) 脈衝(chong) 期間，水吸收了一小部分激光能量後就轉化為(wei) 熱量。水溫持續升高導致了折射率不斷發生變化，這會(hui) 產(chan) 生所謂的“負透鏡”效應。激光脈衝(chong) 後一段時間，水由於(yu) 熱傳(chuan) 導和對流等熱交換過程而冷卻。結果，折射率再次上升至初始水平。這時，熱導透鏡失去了作用。這種現象稱為(wei) 熱暈或熱散焦。

傳(chuan) 輸損耗隨著脈衝(chong) 能量的增加而增加，熱散焦導致了耦合出現問題。這種散焦也致使激光束變寬，焦點位置發生偏移。因此，有相當一部分的激光能量打在了焦點以外的區域，從(cong) 而引發了噴嘴損壞。

在確定水溫升高對激光束產(chan) 生影響後，Richerzhagen的下一個(ge) 任務是測量激光束穿過水時的變化。通過實驗認證和數學計算，他找到了確定折射率與(yu) 水溫間關(guan) 係的準確方法。更進一步，他又通過數值模擬重現對熱散焦下光束輪廓的實驗測量。1993年，Richerzhagen成功展示了第一台燒蝕材料的水射流導向激光器，並最終在1994年完成了對這項發明的專(zhuan) 利申請，銷售商標為(wei) Laser MicroJet®（LMJ），工作原理如圖2所示。

一種全新的激光加工技術

目前，從(cong) Synova公司公布的信息顯示，其激光器使用的是半導體(ti) 泵浦固態脈衝(chong) Nd：YAG激光器，脈衝(chong) 持續時間以微秒或納米秒計算，波長為(wei) 1064nm或532 nm，平均激光功率範圍20W-400W。在 50-800bar下每小時的耗水量在10升左右，引起的力可以忽略不計（<0.1牛）。噴嘴是由藍寶石或鑽石製成，足夠的硬度保證長時間噴出長而穩定的水射流。

水射流導向激光（激光微射流）是一種革命性的切割技術，既有水射流切割低溫、工作距離大的優(you) 點，又兼具常規激光切割的精度和速度。因此，該技術得到廣泛應用，並在其他非常規加工方法（EDM、激光、磨削、磨料水射流）中展現了獨特的優(you) 勢。

對比傳(chuan) 統激光束和微射流激光束，由於(yu) 激光束的發散，傳(chuan) 統的對焦激光束工作距離有限，從(cong) 幾毫米到幾分之一毫米，不僅(jin) 需要精準對焦和距離控製，還限製了切邊的長寬比，錐形激光束產(chan) 生非平行加工壁。另外，激光熱加工中廢料粒子發生沉積後，廢料去除效率低，且易產(chan) 生毛刺。

激光微射流技術用的是一束在空氣—水界麵完全反射的激光束。光束的加工距離超過10厘米且能形成平行切邊，無需對焦或距離控製。切割麵不平也不成問題，可進行3D切割，可變切割深度高達幾厘米。 柱狀激光可產(chan) 生平行切割壁，可實現穩定的高質量切削效果，長寬比較高，切邊寬度很小（>20µm），能以更小的材料損耗實現同樣深的切削效果。

水射流的冷卻作用可避免熱損傷(shang) 和材料變化，從(cong) 而保持了較高的強度。薄薄的水膜消除了廢料粒子的沉積和汙染，無需加工表麵保護層，高動能的水射流噴出熔融物質，避免毛刺形成。

事實證明，激光微射流技術特別適於(yu) 加工切邊非常薄、表麵塗層精致以及易於(yu) 變形、熱敏感的高精密工件，比如半導體(ti) 行業(ye) 。柱狀導向激光切割質量優(you) 良，材料損失小，是平行切削脆性材料和硬材的理想解決(jue) 方案。
當前，Synova公司的研發團隊仍在不斷研究、改進、優(you) 化解決(jue) 方案。激光微射流技術正越來越多地應用於(yu) 許多工業(ye) 部門加工各種材料，通常是高科技材料如陶瓷複合材料或需要高質量表麵光潔度的CVD工具。各國研究機構都已經開始開發水射流導向激光技術的應用。 可以預見，這項技術的發展前景一片光明。