在激光的生產(chan) 和使用過程中,不可避免的會(hui) 涉及到光束質量的檢測和表征,M2和BPP是表達激光光束質量的兩(liang) 個(ge) 最常用的物理量。M2和BPP是基於(yu) 相同的物理概念導出,所以他們(men) 兩(liang) 者之間可以相互換算。
在很多激光器應用中,對激光進行光束診斷,進而控製加工聚焦光束質量比較重要的,如果可以控製光束質量,就可以得到更加一致的光束加工質量。激光的直徑和強度分布可通過光束輪廓分析儀(yi) 測量,高斯光束傳(chuan) 播時,每個(ge) 截麵的光束形狀都是高斯形,但從(cong) 束腰到遠場的強度的輪廓的平坦趨勢會(hui) 越來越高。很多激光加工應用中,往往要求以盡可能小的光斑聚集所有的激光能量,而M2因子便是一個(ge) 量化激光聚焦能力的參數:
光束質量之所以重要是因為(wei) 它是判斷激光器好壞和能否進行激光精密加工的一個(ge) 關(guan) 鍵物理量,對於(yu) 很多種單模輸出的激光器來說,高品質的激光器通常都具有很高的光束質量,對應很小的M2,例如1.05或1.1。而且激光器能夠在使用壽命之內(nei) 都保持很好的光束質量,M2數值幾乎不變。對於(yu) 激光精密加工而言,高光束質量的激光光束更有利於(yu) 整形,從(cong) 而進行不損傷(shang) 基底,沒有熱效應的平頂激光加工。在實際使用中,標注激光器規格參數時,M2多數用於(yu) 固體(ti) 激光器、氣體(ti) 激光器,而BPP多用於(yu) 光纖激光器。

描述激光的光束質量通常由兩(liang) 個(ge) 參數表達:BPP和M。M很多時候也寫(xie) 成M2,可以讀作M平方或M2。下圖為(wei) 高斯光束的縱向分布圖,其中束腰半徑W,遠場發散角半角θ。

BPP(Beam Parameter Product),BPP中文名稱是光束參數乘積,定義(yi) 為(wei) 束腰半徑 × 遠場發散角
BPP=W × θ
高斯光束的遠場發散角半角:
θ0=λ / ΠW0
M:光束參數乘積與(yu) 基模高斯光束的光束參數乘積的比值:
M2=(W×θ)/(W0×θ0)=BPP /(λ/Π)

上述BPP(beam parameter product)為(wei) 光束參量積,它是一個(ge) 恒量,等於(yu) 束腰半徑和遠場半發散角的乘積。對於(yu) 理想高斯光束而言具有最小束腰和發散角,其光束參量積隻和波長有關(guan) ,而實際激光的光束參量積需要乘上M因子。所以,M等於(yu) 實際光束參量積除以同波長高斯光束參量積的比值,M因子的含義(yi) 上是相當於(yu) 實際光束與(yu) 高斯光束的接近程度。高斯光束的M為(wei) 1,而實際光束質量越差,而光束參量積越大,M越大。
由以上公式不難發現,其中BPP與(yu) 波長是無關(guan) 的,而M因子也與(yu) 激光波長有關(guan) 。他們(men) 主要於(yu) 激光器的腔體(ti) 設計和裝配精度有關(guan) 。
M因子數值無限接近於(yu) 1,表示真實數據和理想數據的比值,當真實數據越接近於(yu) 理想數據時,則光束質量越好,即當M因子越接近於(yu) 1時,則光束質量越好,對應的發散角度越小。
對於(yu) 光束質量的分析,主要依賴光束分析儀(yi) 進行測量。光束質量分析儀(yi) 可以進行精準測量,而使用光斑分析儀(yi) 則需要複雜的操作,通過不同位置采集激光截麵的數據,然後通過儀(yi) 器內(nei) 置程序合成M的數據,如果在采樣過程中存在操作失誤或測量錯誤,則無法測量分析M的數值。而對於(yu) 高功率測量,則需要複雜的衰減係統,使激光功率保持在可測量的範圍內(nei) ,避免功率過高損壞儀(yi) 器探測麵。

根據上圖,可對光纖纖芯和數值孔徑進行估算。對於(yu) 光纖激光器,束腰半徑ω0=光纖芯徑/2=R,θ=sinα=α=NA(光纖數值孔徑)
由此可得出結論:
BPP越小,表示激光器的光束質量越好。
對於(yu) 1.08um的光纖激光器而言,單基模 M2=1,BPP=λ/Π=0.344 mm mrad
對於(yu) 10.6um的CO2激光器,單基模M2=1,BPP=3.38 mm mrad
假設兩(liang) 種單基模(或者多模M2相同的情況下)激光器聚焦後,發散角一致,則CO2激光器的焦點直徑是光纖激光器的10倍。
M越接近於(yu) 1,表示激光器的光束質量越好。
在激光光束處於(yu) 高斯分布或近高斯分布時,M因子越接近於(yu) 1,則表明實際激光越接近於(yu) 理想狀態高斯激光,則光束質量越好。
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