三軸掃描振鏡的優(you) 點 開發三軸掃描振鏡是由於(yu) 輸出鏡頭的成本和大小限製以及二軸掃描振鏡的光束孔徑限製，這種限製有礙於(yu) 在中等大小掃描範圍內(nei) 產(chan) 生較小光斑的功能。三軸掃描振鏡滿足客戶對於(yu) 小光斑大尺寸加工範圍的應用要求，並允許用戶使用相同掃描振鏡改變工作距離、範圍和光斑大小。三軸技術也適用於(yu) 針對移動目標的動態應用，因為(wei) 在三維應用中，相應的激光設備能夠加工非平麵部件或不光滑表麵以及高功率產(chan) 品。現在，這些解決(jue) 方案用於(yu) 頻率 nd:yag、二極管和 co2 激光器。
	功能描述 在三軸掃描振鏡工作時，激光束首先進入移動鏡頭。透過移動鏡頭之後，光束快速分散，直到進入一個(ge) 或兩(liang) 個(ge) 聚焦鏡頭。現在會(hui) 聚的光束穿過鏡頭，並由一組 x 和 y 鏡片（這些鏡片由振鏡式掃描器移動）引導。x 和 y 鏡片呈直角排列，向下引導光束，覆蓋工作範圍的長和寬。 在沒有焦點校正的掃描振鏡中，向任一軸向移動工作範圍中心聚焦的激光光斑時，都會(hui) 劃出一個(ge) 弧形，在工作範圍上方產(chan) 生一個(ge) 聚焦點的球麵。在遠離工作範圍中心的位置，激光光束沒有聚焦。這是因為(wei) 當掃描器將光束向遠離工作範圍中心的方向引導時，從(cong) 鏡頭到工件的距離增加了。