產(chan) 品特點
l Ÿ 氣浮導軌，超高性能精度 Ÿ 重複定位精度±15nm（Sic版）
l Ÿ 平麵式氣浮結構，減小係統誤差影響 Ÿ 直線度優(you) 於(yu) 1μm
l Ÿ 龍門式雙驅結構，承載能力強 Ÿ Z軸納米級定位抖動
l Ÿ 高速，快速的整定時間 Ÿ 可選激光尺位置反饋
l Ÿ 可定製陶瓷材質氣浮導軌 Ÿ 優(you) 化線纜管理係統
應用領域
QFHDS係列三軸超精密運動台，XY軸平麵式氣浮結構，Z軸交叉滾柱結構，用於(yu) 半導體(ti) 加工、檢測、微納加工等行業(ye) 。
結構特點
XY軸運動結構共麵，兩(liang) 軸的反饋機構在同一個(ge) 水平麵，相當於(yu) 單軸運動，不存在因疊層引起的阿貝誤差，此結構提升動態跟蹤誤差，高速響應頻率及位置穩定性，開發的氣浮軸承補償(chang) 方法，提高剛性和負載能力，以滿足高動態響應的要求，可實現快速運動和極速位置整定。Z軸交叉滾柱導軌結構，安裝到龍門橫梁上，亞(ya) 微米級精度，定位抖動優(you) 於(yu) 20nm。更高要求可接受定製，瑞邦精控提供係統解決(jue) 方案，對環境要求提供專(zhuan) 業(ye) 建議。
直驅設計
采用無鐵芯直線電機驅動，實現了超平穩的運動。步進軸和掃描軸安裝位置接近於(yu) 負載水平麵，以提高直線度、平麵度和傾(qing) 角誤差等。
其他
使用高質量的電纜，帶屏蔽功能，防止電子信號的幹擾，優(you) 化管線的彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮台的性能。根據應用，可安裝旋轉台，傾(qing) 角台或晶圓裝卸用的夾具等。可安裝激光尺或激光幹涉儀(yi) 閉環反饋，提升係統精度性能。
規格指標
型號 | 單位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS-400-400-100 | QFHDS-500-500-200 | ||||||
軸係 | — | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 |
補償(chang) 後定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.15 | ||
標準值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.3 | ||||
雙向重複定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.025 | ±0.075 | ±0.05 | ±0.075 | ±0.05 | ||
標準值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.25 | ±0.5 | ±0.35 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
平麵度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1 | ±1.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | ±2 | ±1 | ±3 | ||
標準值 | ±1 | ±5 | ±1.5 | ±5 | ±1.5 | ±7 | ||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | ||
標準值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | 0.1 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | |||
最大加速度 (空載) (4) | m/s² | 5,（10, 20, 30 定製） | 5 | 5,（10, 20, 30 定製） | 5 | 5,（10, 20, 30 定製） | 5 | |||
最大負載 | kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 | |||
注：
以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統的精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。
1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。
3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。
4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。
