QFL3D係列三軸氣浮運動台_其他設備＿其他設備價格＿其他設備供應商

產(chan) 品特點

l Ÿ 三軸直驅氣浮結構 Ÿ 重複定位精度±50nm

l Ÿ 結構緊湊、精度高 Ÿ 全行程直線度±0.1μm

Ÿ 根據需求可定製 Ÿ 高柔線纜管理係統

背景介紹

QFL3D係列是一款結構緊湊的三軸氣浮運動台，用於(yu) 飛秒激光加工，超精密加工，測試測量，掃描、半導體(ti) 及光子學對準等行業(ye) ，由於(yu) 非接觸式移動，精度高和結構緊湊是行業(ye) 內(nei) 的理想選擇。

結構優(you) 勢

QFL3D係列是一款預負載結構的三軸氣浮運動台，氣浮結構已證明是精密應用中的理想選擇，適用飛秒激光加工、微納製造等應用，具有體(ti) 積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是定位抖動，還是速度穩定性，QFL3D係列都是良好的解決(jue) 方案。

定製化

根據用戶的應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如直接在XY軸上增加Z軸，平升Z軸或定製大理石基座、立柱及橫梁上側(ce) 掛Z軸等。此外可提供激光觸發同步輸出5V TLL信號。

線纜管理

使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chan) 生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動台的性能。

潔淨室兼容性

氣浮軸承本質上與(yu) 潔淨室環境兼容，高質量的無塵線纜管理也符合實驗室環境。

規格指標

型號	單位	QFL3D-50-50-25	QFL3D-100-100-25	QFL3D-150-150-25
軸係	—	X	Y	Z	X	Y	Z	X	Y	Z
行程	mm	50	50	25	100	100	25	150	150	25
補償(chang) 後定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.1	±0.1
標準值	±0.2	±0.2	±0.2
雙向重複定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.05	±0.05
標準值	±0.1	±0.1	±0.1
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.05	±0.1
標準值	±0.25	±0.25	±0.4
平麵度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.1	±0.15
標準值	±0.35	±0.4	±0.5
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.35	±0.4	±0.5
標準值	±1	±1	±1.5
電子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（選配）
最大速度 (空載) ⁽⁴⁾	mm/s	200
最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s²	1,（5 定製）
最大負載	kg	5
供氣壓力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

注：

以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。

1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。

3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。

4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。

5. 為(wei) 保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關(guan) 。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。