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RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動台

品牌:
瑞邦精控
價格:
0.00
起訂:
0
供貨總量:
0
發貨期限:
自買家付款之日起 3 天內發貨
地址:
北京順義馬坡
有效期限:
長期有效
最後更新:
2024-04-22
公司基本資料信息
商品詳情

產(chan) 品特點 

l Ÿ  直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)

l Ÿ  旋轉軸行程±90°*360°(AB軸)

l Ÿ  XYZ交叉滾柱導軌,納米級定位紋波

l Ÿ  AB軸氣浮轉台,亞(ya) 微米跳動誤差

l Ÿ  優(you) 化線纜管理係統

l Ÿ  結構、行程可定製

 

應用領域

RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動台用於(yu) 曲麵飛秒激光加工。

 

產(chan) 品簡介

XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向,直線電機驅動及光柵尺閉環反饋,XY軸平麵式結構,最大限度降低高度,減小係統誤差影響;此外XY軸可定製抱閘功能,抱閘位置漂移可控製在10nm內(nei) 。

Z軸直驅力矩電機驅動,交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋,獲得納米級定位紋波;

AB軸氣浮軸承、力矩電機驅動及光柵尺閉環反饋,閉式氣浮結構,對結構進行優(you) 化設計,氣浮軸承表麵和創新的預壓高剛度,側(ce) 向放置承載能力大,解決(jue) 氣浮抱死的問題。優(you) 秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾(qing) 角誤差,使AB軸正交2~10arc sec,軸向線重合度2~10μm。

大理石機體(ti) 因強度大、硬度高、不生鏽、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好,應用於(yu) 運動台上質量可靠,品質有保障。大理石做模態分析,優(you) 化結構尺寸,可依據客戶的要求做最終設計。


規格指標

軸係

測試項目

單位

指標要求

實測指標

X 軸

行程

mm

200

200

補償(chang) 後定位精度

μm

±0.5

±0.07


雙向重複定位精度

μm

±0.15

±0.05


直線度

μm

±1.5

±1.1


平麵度

μm

±2

±0.45


工作速度

mm/s

100

100


Y 軸

行程

mm

200

200

補償(chang) 後定位精度

μm

±0.75

±0.15


雙向重複定位精度

μm

±0.25

±0.04


直線度

μm

±1.5

±1.2


平麵度

μm

±4

±0.9


工作速度

mm/s

100

100


A 軸

行程

°

±90

±90

補償(chang) 後定位精度

arc sec

±2

±0.4


雙向重複定位精度

arc sec

±1

±0.15


軸向跳動誤差

μm

0.5

0.2


徑向跳動誤差

μm

0.5

0.3


工作速度

°/s

40

40


B 軸

行程

°

360

360

補償(chang) 後定位精度

arc sec

±2

±0.4


雙向重複定位精度

arc sec

±1

±0.2


軸向跳動誤差

μm

0.5

0.1


徑向跳動誤差

μm

0.5

0.3


工作速度

°/s

40

40


Z 軸

行程

mm

150

150

補償(chang) 後定位精度

μm

±0.5

±0.4


雙向重複定位精度

μm

±0.1

±0.06


直線度

μm

±1

±0.05


平麵度

μm

±1

±0.35


工作速度

mm/s

50

50


XYAB

負載

kg

1

1

Z

負載

kg

20

20