近年來，為(wei) 了將在半導體(ti) 光刻用準分子激光器領域長期積累的技術應用到其他領域，Gigaphoton一直在推進用於(yu) FPD製造領域a-Si（非晶矽）膜的微型激光退火工序的準分子激光器的開發工作，並將開發成功的新型準分子激光器“GIGANEX”的試製機交付給了麵板生產(chan) 廠商。 在2016年5月22-27日於(yu) 美國舉(ju) 辦的Display Week 2016上展出了試製麵板，引起了巨大轟動。

該“GIGANEX”係列退火裝置專(zhuan) 用的準分子激光器係V Technology公司生產(chan) 的裝置的專(zhuan) 用機，是作為(wei) 微型激光退火工序的光源開發的。微型激光退火裝置的特點是，導入現有的a-Si麵板的製造工序後，使a-Si結晶成p-Si（多晶矽），可以製造8K等規格的高精細麵板，這是憑借以前的a-Si工藝所不可能實現的。另外，PLAS還適合於(yu) 采用以往的激光退火工序難以實現的大型麵板規格，並且也可以適用於(yu) 製造的50~70英寸的電視麵板的大型液晶製造設備工廠。

　 Gigaphoton董事長、總經理兼首席執行官都丸仁先生說：“本公司麵向新領域的準分子激光器GIGANEX已經在FPD業(ye) 界登場。能夠為(wei) 麵板生產(chan) 廠商的LTPS TFT液晶麵板的試製成功做出貢獻，我們(men) 感到由衷的高興(xing) 。今後GIGANEX將成為(wei) FPD製造領域嶄新的解決(jue) 方案，我們(men) 期待著它能夠為(wei) 業(ye) 界做出貢獻。”

關(guan) 於(yu) GIGANEX
新型準分子激光器“GIGANEX”是Gigaphoton公司充分利用長期以來在半導體(ti) 光刻用準分子激光器領域積累的技術實力開發而成，是準分子激光器的一個(ge) 新品牌，麵向FPD製造、柔性設備工藝及光刻以外的半導體(ti) 製造等領域。該公司將不斷與(yu) 合作夥(huo) 伴共同開展創新，探索準分子激光器更深層次的可能性，並提供GIGANEX的解決(jue) 方案。