“GIGANEX”準分子激光器的機殼示意圖
這是一款應用高可靠性半導體(ti) 光刻用準分子激光器的退火用準分子激光器,是專(zhuan) 供V-Technology製造的裝置使用的專(zhuan) 用機。通過導入已有的a-Si(非晶矽)麵板製造工序,使a-Si向p-Si(多晶矽)結晶化,可製造用以往a-Si無法製造的8K等高精細麵板。
另外還可實現以往激光退火工藝無法實現的大型麵板尺寸的製造,可滿足製造50~70英寸TV麵板的大尺寸液晶製造設備工廠的要求。
GIGANEX是麵向FPD製造、柔性器件工藝及光刻以外的半導體(ti) 製造等領域的準分子激光器產(chan) 品的新品牌。公司已在5月22~27日於(yu) 美國舉(ju) 行的“Display Week 2016”上,展出了用GIGANEX製造的試製麵板。
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