激光刻蝕機是指利用高能量的激光光束照射材料表麵,通過剝離基材表麵的導電材料,形成線路或達到一定的阻值,從(cong) 而達到刻蝕的目的。
激光刻蝕機的主要構成有激光器、XY直線工作台、驅動器、工控機、高速振鏡、聚焦透鏡、係統控製軟件、定位係統、抽塵係統、真吸附空係統、外光路、機台等,能夠有效滿足大尺寸與(yu) 高精度拚接加工的需求。根據不同的加工需求,組合配置光學及運動控製係統,以元祿光電為(wei) 例,可采用納秒級別紅外光纖(包括可調脈寬激光器)、515/532nm綠光激光器、355nm紫外激光器,也可采用超短脈衝(chong) 皮秒或飛秒激光設備進行加工。標準配置600*600mm有效加工幅麵,最大可做到3200*2400mm加工幅麵,可滿足觸摸屏、光伏太陽能電池、以及其他導電薄膜或導電玻璃材料的刻蝕加工。
根據元祿光電的激光刻蝕設備的工藝經驗,以激光器的類型分類為(wei) 向導,為(wei) 大家帶來常見的激光刻蝕機主要應用領域介紹。
納秒紅外光纖激光刻蝕機
采用普通脈衝(chong) 式光纖激光刻蝕機或可調脈寬光纖激光刻蝕機,對鍍膜玻璃、薄膜表麵FTO、ITO、銀獎、鋁、銅、鉬鋁鉬、錫合金、鎳合金、鍍金玻璃等材料進行超精細刻蝕。
在光伏太陽能電池行業(ye) ,對激光刻蝕機的工藝要求通常能夠有限滿足加工效率要求以及保證隔斷對材料的導通性,無殘留、無短路現象,對線寬的要求不高,保證在0.1mm以下的線寬就可以,因而部分材料的蝕刻可以選擇成本更加低廉的Q開關(guan) 光纖激光刻蝕機。
這類型的激光刻蝕機通常用於(yu) 光伏太陽能電池激光劃線,以及P1刻蝕,如鈣鈦礦電池的P1層FTO刻蝕;也可用於(yu) 觸摸屏行業(ye) ITO、銀獎蝕刻,包括ITO玻璃、銀獎薄膜等。而在一些特殊領域,如汽車後視鏡,紅外激光刻蝕機同樣有非凡的表現,能夠有限的實現鋁薄膜刻蝕,同時不傷(shang) 及基材。
激光刻蝕FTO樣例
激光刻蝕鋁薄膜樣例
激光刻蝕銀獎樣例
激光刻蝕ITO樣例
納秒綠光激光刻蝕機
相比較於(yu) 紅外光纖激光刻蝕機,此類型激光器的激光刻蝕應用主要體(ti) 現在太陽能光伏領域,尤其是對PERC電池的應用較為(wei) 廣泛,特別適用於(yu) P1/P2/P3劃線等。相比較於(yu) 光纖激光刻蝕機,刻蝕的線條更加精細,適合對P2、P3層的刻蝕。元祿光電總結的經驗看,從(cong) 背麵利用綠光對P1層FTO或ITO刻蝕更加幹淨、線條更細,並且對玻璃基材無損傷(shang) 。
納秒紫外激光刻蝕機
紫外激光刻蝕機的主要適用領域是電子行業(ye) ,如傳(chuan) 感器蝕刻,通常也可用於(yu) 激光調阻,常見的有銅薄膜刻蝕。紫外激光刻蝕機的優(you) 勢在於(yu) 刻蝕的線條更加精細,同時不傷(shang) 及薄膜,能夠有效保證導通性及阻值的要求,並能根據需求隨時進行調整。
紫外激光刻蝕銅箔樣例
超快激光刻蝕機(皮秒、飛秒)
采用皮秒激光或飛秒激光對無機材料或導電金屬材料刻蝕,如石墨烯、油墨、鈣鈦礦電池P2刻蝕以及碳粉刻蝕等。超快激光刻蝕機的優(you) 勢在於(yu) 對材料的熱影響更小,因此刻蝕的線寬相比較納秒紫外激光刻蝕機更加精細,加工效果更好,能對多層材料進行蝕刻,如鈣鈦礦電池等。
鈣鈦礦電池激光刻蝕樣例
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