真空輔助薄膜技術產(chan) 生具有特殊性質的薄膜表麵。例如，它被用於(yu) 美化高層建築的玻璃和電子元件。

巨大的玻璃外牆是現代高層建築的一大特色。其設計是為(wei) 了讓充足的陽光照入建築物。但是，即使在陽光照射下，房間內(nei) 也幾乎不會(hui) 變熱。玻璃上的特殊塗層不僅(jin) 允許光線進入，還可阻擋高能射線，同時抑製低溫下的熱損失。

納米塗層

這些塗層通過濺射塗覆。這使得載體(ti) 材料能夠以金屬、氧化物、氮化物和其他化合物層提供。這些化合物層的厚度在微米級，甚至納米級。建築玻璃使用氧化錫、金、銀和銅材料來防曬和隔熱。其他材料使製造超薄平板顯示屏和觸摸屏成為(wei) 可能。

濺射在真空室內(nei) 進行。塗層材料（目標）放置在待塗覆工件（基材）的對麵。然後，室內(nei) 被抽真空，並引入惰性氣體(ti) ——通常是氬氣。同時，還要施加幾百伏的高壓。

原子"台球"

在高電壓下，攜帶巨大能量的氬離子開始轟擊目標。像台球一樣，它們(men) 通過激波級聯從(cong) 塗層材料中釋放原子。釋放出的原子飛到基板上，在那裏像凝結在浴室鏡子上的水蒸氣一樣，形成一層薄薄的塗層。

利用磁控濺射中附加的磁場，可以更快地去除靶上的物質，加速塗覆過程。在濺射過程中，真空室的工作壓力不超過0.1毫巴。以這種方式，"物質蒸汽"到達未經檢查的基板，沒有雜質。在這種條件下，即使在一米高的玻璃上，也會(hui) 形成極薄、均勻，同時極其光滑、致密和粘附的塗層。