9月9日，德國聯邦總統辦公室在慕尼黑德意誌博物館榮譽殿堂宣布了2020年德國未來獎提名人。聯邦總統技術與(yu) 創新獎最後一輪項目是通快、蔡司和弗勞恩霍夫應用光學與(yu) 精密機械研究所的專(zhuan) 家團隊的項目“EUV光刻-數字時代的新光”。

世界上唯一的EUV光刻機製造商是荷蘭(lan) ASML公司，該公司作為(wei) 集成商設計了整個(ge) 係統的體(ti) 係結構，尤其是EUV源。這些機器的關(guan) 鍵部件是通快的EUV光源高性能激光器和蔡司的光學係統。EUV代表“極紫外線”，即具有極短波長的光。借助這項技術，可以生產(chan) 出比以往任何時候都更強大、更節能和更具成本效益的微芯片。如果不繼續保持強勁的計算能力，就不會(hui) 成功實現數字化。最新一代芯片的製造過程是基於(yu) EUV燈的使用，它克服了以前在技術上可行的限製。從(cong) 光源到真空中的光學係統再到所用反射鏡的表麵塗層，實際上，整個(ge) 曝光技術都必須從(cong) 頭開始開發。

來自三家機構的三名候選人為(wei) EUV技術的開發和工業(ye) 批量生產(chan) 做出了重大貢獻，獲得了2000多項專(zhuan) 利保護的未來技術。

通快副總裁兼首席技術官Peter Leibinger：“對於(yu) 德國未來獎的提名，我們(men) 感到非常高興(xing) 。這再次證實了EUV技術的全球潛力。得益於(yu) 與(yu) 蔡司、弗勞恩霍夫和荷蘭(lan) 技術集團ASML的合作，我們(men) 得以在這項未來技術上與(yu) 來自日本和美國的德國和歐洲競爭(zheng) 對手競爭(zheng) 。世界上最好的製造微芯片的機器來自歐洲，這是我們(men) 共同撰寫(xie) 的非凡故事。這種獨特合作成功的關(guan) 鍵是相互信任和毅力。”

借助世界上最強大的脈衝(chong) 工業(ye) 激光器，通快為(wei) 每個(ge) 現代智能手機中使用的最現代微芯片的曝光提供了關(guan) 鍵組件。除了產(chan) 生雷射平版印刷術所需的光之外，沒有其他經濟的替代方法。Leibinger：“隻有通快可以製造EUV光刻所需的激光器。沒有這些激光器，諸如人工智能或自動駕駛之類的未來技術將無法實現，因為(wei) 它們(men) 需要大量的計算能力。激光60周年的德國未來獎提名再次強調了這種工具對於(yu) 德國作為(wei) 工業(ye) 基地的重要性。”

“與(yu) 我們(men) 的合作夥(huo) 伴一起，我們(men) 對提名感到非常高興(xing) ，該提名表彰了一項極其複雜的開發工作，並將其轉化為(wei) 主導世界市場的技術。” 蔡司集團執行董事會(hui) 成員兼半導體(ti) 製造技術部門負責人Markus Weber說，“蔡司代表最高的光學性能和精度。這在芯片生產(chan) 中一直很重要。EUV技術及其在真空中操作的反射鏡光學器件是一項飛躍性的創新，需要同等的創造力和持久性，才能從(cong) 構思到今天的係列使用。照明係統的質量和形狀以及投影光學係統的分辨率決(jue) 定了微芯片上的微小結構。EUV繼續推動商業(ye) 和社會(hui) 數字化領域的巨大進步。”

由於(yu) 即使最小的不規則性也會(hui) 導致圖像錯誤，弗勞恩霍夫（Fraunhofer）是鏡子精密鍍膜技術的重要研究夥(huo) 伴，為(wei) EUV光刻技術開發了世界上“最精確”的反射鏡。“Fraunhofer是半導體(ti) 技術的先驅之一。我們(men) 在我們(men) 的研究所和設施中研究EUV光刻技術已有三十年了”。Fraunhofer-Gesellschaft總裁Reimund Neugebauer教授解釋說，“我們(men) 的研究人員在首批EUV反射鏡和光束源的開發中發揮了關(guan) 鍵作用，從(cong) 而為(wei) 該技術的突破奠定了基礎。由於(yu) 科學與(yu) 工業(ye) 之間的長期緊密合作，現已在全球範圍內(nei) 實現了在這一創新領域的廣泛應用的飛躍。EUV光刻技術是通過合作、研究精神和可持續承諾實現技術和經濟附加值的傑出例子。”

自1997年以來，每年都會(hui) 頒發“德國未來獎”，這是德國最重要的科學獎項之一。它表彰可產(chan) 生現成產(chan) 品的傑出技術、工程和科學成就。在一個(ge) 多階段的過程中，德國未來獎的頂級評審團從(cong) 眾(zhong) 多項目中選出了三個(ge) 研究團隊及其創新，以作為(wei) 最後一輪“最佳圈子”獎。除創新表現外，評審團還評估發展的經濟和社會(hui) 潛力。

關(guan) 鍵詞：德國未來獎;通快;弗勞恩霍夫

原文鏈接：https://www.fraunhofer.de/de/presse/presseinformationen/2020/september/deutscher-zukunftspreis-euv.html