晶圓是製作集成電路（IC）最基礎的半導體(ti) 材料，晶圓的質量直接決(jue) 定IC成品的質量好壞。由於(yu) 工藝水平不同，晶圓可能會(hui) 在生產(chan) 階段產(chan) 生冗餘(yu) 物、晶體(ti) 缺陷和機械損傷(shang) 三種缺陷。因此，高效準確的檢測設備，是提供高可靠性晶圓材料的保證。

Laser Quantum axiom 激光器係統，半導體(ti) 晶圓檢測的理想設備

由於(yu) 檢測效率低下，半導體(ti) 晶圓製造工藝經常產(chan) 生不必要的材料和時間浪費。當激光噪聲用作晶圓檢測的測量方法時，可以實現精確的計量工藝。但是，某些激光特性的變化可能會(hui) 錯誤地標識晶圓上的錯誤，從(cong) 而導致誤報的產(chan) 生，因此，會(hui) 導致可避免的廢品率增加，最終浪費材料和處理時間。

通過利用具有長期功率穩定性的超低噪聲激光器，可以在很大程度上消除這一問題，該激光器專(zhuan) 為(wei) 此類要求苛刻的24/7檢測應用而設計。

計算機采集和分析顯示浸潤測試數據

在高端計量應用中，測量特征尺寸是半導體(ti) 工藝監測中的關(guan) 鍵指標。執行此測量的有效方法是使用激光器作為(wei) 探針在整個(ge) 晶圓基片上快速掃描激光線。隨後測量反射信號，與(yu) 樣品相互作用的激光噪聲可指示特征尺寸。激光噪聲越低，準確表征這些特征測量值的精度就越高。

低噪聲激光是如何產(chan) 生的？

通過在激光器的中心設計一個(ge) 特定的低噪聲腔，並與(yu) 專(zhuan) 門為(wei) 支持低噪聲而設計的機載電子控製子係統協同工作，可以在很大程度上實現低噪聲規格。每個(ge) LaserQuantum係統均具有基於(yu) SANOFF濾波技術並獲得專(zhuan) 利的低噪聲腔。SANOFF是一種選擇性模式剝離功能，旨在減少激光模式競爭(zheng) ，從(cong) 而產(chan) 生超低噪聲規格。

通過在銅基板上化學氣相沉積產(chan) 生的具有雙層島的單層石墨烯的 高光譜拉曼圖像。蒙特利爾大學化學係 Richard Marte 教授通過 Photon etc 公司的拉曼成像技術，獲得了該數據圖像

電子子係統采用一係列進一步的降噪功能，這些功能與(yu) 優(you) 化的腔體(ti) 設計相結合，以提供高水平的信號純度和一致性。其中一項是實時反饋功能，使用超快光電二極管對激光束信號進行實時監控。然後，該信號中存在的任何殘留噪聲都會(hui) 在泵浦二極管處進行實時補償(chang) ，從(cong) 而在殘留噪聲峰值到達樣品之前就可以有效地消除它們(men) 。此功能與(yu) 光學設計一起，可以形成超低噪聲激光器，無論周圍環境如何，它都能主動、智能地保持超低噪聲水平。

顯示半導體(ti) 晶圓檢測的設置

功率穩定性

激光器的高水平和長期功率穩定性也是此應用中的關(guan) 鍵因素，集成式實時功率反饋是係統可靠性和一致性的前提。所有LaserQuantum激光器均采用先進的功能管理架構設計，旨在將功率的微小波動反饋給控製器，從(cong) 而使功率穩定性保持恒定。定製此反饋回路自動化的能力使OEM廠商能夠從(cong) PID設置中執行微調，以便在最苛刻的應用中精確管理死區問題。

可靠性

作為(wei) 關(guan) 鍵任務應用中的主要功能，激光器係統必須能夠提供可靠的一致性。作為(wei) 嵌入式OEM係統的製造商，LaserQuantum出產(chan) 的每個(ge) 係統都旨在作為(wei) 標配提供這項關(guan) 鍵任務性能。製造的每台激光器都經過嚴(yan) 格的300小時測試方案，可模擬各種苛刻的性能環境，包括溫度循環和振動測試等。LaserQuantum的設計理念之一是，其所有激光器係統均在更高的功率循環條件下進行測試，以確保在必要時可以提供附加功率，並確保長期穩定的性能。

LaserQuantumaxiom激光器係統具有本應用白皮書(shu) 中描述的所有技術，使其非常適合要求功率穩定、低噪聲和穩定性能的最苛刻應用。

延伸閱讀

●LaserQuantumaxiom激光器係列

axiom係列激光器采用全新架構，可提供連續波功率，其激光頭可集成當前的所有光源。這種設計模式讓該係列產(chan) 品易於(yu) 集成到設備中，省去了泵浦光的光纖傳(chuan) 輸的複雜性。axiom係列激光器提供了業(ye) 內(nei) 領先的紅光激光器（660nm/6W），出色的噪聲表現和穩定性；綠光激光器則表現出極低的噪聲。這兩(liang) 台激光器都搭載了緊湊型電源的小型激光係統，是拉曼成像、粒子像速度、紅色熒光成像、鈦藍寶石泵浦和顯微鏡綠光的理想選擇。Axiom係列的兩(liang) 種型號（532nm、660nm）都具有集成的水冷通道。

axiom532除了用於(yu) 半導體(ti) 檢測、光學捕獲和粒子圖像測速外，還十分適合作為(wei) 鈦藍寶石泵浦源。憑借小於(yu) 2µrad/℃的光束指向穩定性，小於(yu) 0.03%的典型噪聲值和小於(yu) 0.1%的典型功率穩定性，axiom係列激光器能傳(chuan) 送出令人滿意的高質量光束。低噪聲、低溫控製是鈦藍寶石泵浦源的關(guan) 鍵屬性，泵浦激光的噪聲可直接轉化成鈦藍寶石激光器的噪聲。

●拉曼顯微高光譜成像係統

由Photonetc開發的全球高光譜拉曼成像儀(yi) 提供了一種獨特的解決(jue) 方案，用於(yu) 對大麵積（最大1mmx1mm及更大）的高級材料進行光譜和空間表征。通過將從(cong) 拉曼光譜指紋獲得的豐(feng) 富信息與(yu) 全局高光譜成像的速度結合，高光譜拉曼成像儀(yi) 擴展了樣品分析的範圍，是一種強大的材料非侵入性成像方式（RIMA™NANO）。

與(yu) 傳(chuan) 統的點成像拉曼係統不同，Photonetc高光譜拉曼成像儀(yi) 采用了麵成像技術，將激光擴束後，用特殊的光學元件將擴束後的高斯分布的激光整形成均勻分布的平頂激光，照射在樣品上，濾除反射的激光後，所有激發的拉曼光和再通過可調濾波器為(wei) 主的高光譜成像組件，成像在ccd上，可在幾分鍾內(nei) 完成，以相元為(wei) 單位，可以形成高達十萬(wan) 組拉曼光譜數據。（內(nei) 容來源：laserquantum、Photonetc）