3月2日，記者從(cong) 清華大學精密儀(yi) 器係獲悉，該係張書(shu) 練教授課題組進行原理研究並由北京鐳測科技有限公司開發生產(chan) 的雙折射雙頻激光幹涉儀(yi) 實現批量生產(chan) 。

　　雙頻（兩(liang) 頻率）激光幹涉儀(yi) 是科學研究、光刻機、數控機床、航空航天、艦船等行業(ye) 都離不開的光學尺子，用於(yu) 測量零部件的尺寸，角度，位置，直線性，也是檢定各類數控機床、激光加工機床以及光刻機台的精度，進行誤差補償(chang) 的基本儀(yi) 器。

　　張書(shu) 練介紹，雙頻激光器是雙頻激光幹涉儀(yi) 的核心部件。國外幹涉儀(yi) 廠家都是自製專(zhuan) 用激光器，稱為(wei) 塞曼雙頻激光器，不對外供應。此前我國的雙頻激光幹涉儀(yi) 隻能進口普通激光器，從(cong) 中選出可用的，淘汰率高，性能上不去，導致雙頻激光幹涉儀(yi) 國產(chan) 化困難。

　　據介紹，此次清華大學精密儀(yi) 器係發明的雙折射原理的雙頻激光器比傳(chuan) 統的塞曼雙頻激光器的激光功率高一倍、頻率間隔大一倍或兩(liang) 三倍、沒有兩(liang) 個(ge) 頻率之間耦合串混。分辨率達到1納米(十億(yi) 分之一米)，線性測量長度範圍0到70米，非線性誤差小於(yu) 1納米，測量速度超過2米。

　　張書(shu) 練指出，雙折射雙頻激光器的使用帶動了幹涉儀(yi) 整機的光機電係統創新設計，使雙折射雙頻激光幹涉儀(yi) 具有便攜，方便，魯棒等優(you) 良性能。