《fun88官网平台》麵向國家重大需求，依托國家重點研發計劃“增材製造與(yu) 激光製造”專(zhuan) 項“激光高性能連接技術與(yu) 製備”項目，組策同名專(zhuan) 題，該專(zhuan) 題將於(yu) 2021年第8期正式出版，敬請關(guan) 注。

本專(zhuan) 題遴選5篇子課題代表作作為(wei) “亮點文章”。本文來源於(yu) 項目骨幹成員清華大學鄒貴生教授課題組撰寫(xie) 的綜述論文——“超快激光納米線連接技術研究進展”。

一、背景介紹

隨著低維納米材料在高密度、多功能微納光電子器件中的廣泛研究與(yu) 應用，實現低維度下高質量材料互連已成為(wei) 微納器件高性能製造的關(guan) 鍵。由於(yu) 納米材料自身的尺度效應及結構限製，傳(chuan) 統宏觀、微觀尺度下的材料互連技術將難以實現在微納空間上對輸入能量的高精度控製，以降低連接過程中的材料損傷(shang) 。

本文對基於(yu) 光激勵下表麵等離子激元效應和材料非線性光子吸收效應的超快激光納連接技術進行了綜述，介紹了一維納米線同/異質納米接頭的形成關(guan) 鍵過程及影響因素，展示了超快激光納米線連接技術在微納光電子器件高性能製造中的潛在應用。

二、激光納連接技術進展

根據納米線結構的接頭形成特征，當前的連接技術主要為(wei) 接觸式與(yu) 非接觸式兩(liang) 種（如圖1）。其中接觸式包括采用壓力、超聲焊接的方式對納米接頭進行直接處理，或采用納釺焊的方式精確轉移釺料至納米接頭處以實現結構互連。非接觸式主要采用熱處理或高能束輻照的方式以實現材料之間的熔融、擴散互連。

但是，由於(yu) 納連接過程中的接觸特性，對被連接材料的空間定位精度、輸入能量及位置的操控精度要求極高，使得實際的納連接工藝效率受到極大限製。並且直接高輸入能量的連接工藝需要對能量束進行高精度的控製與(yu) 定位，實際操作難度大。因此上述方法將不適用於(yu) 納米接頭的批量化與(yu) 低損傷(shang) 高效連接製造。

圖1 接觸式納連接技術：（a）超聲焊接；（b）釺焊。非接觸式納連接技術：（c）電子束焊；（d）激光焊。

光激勵下金屬-介電界麵處產(chan) 生的等離子激元效應可對輸入光能在結構中進行再分配（如圖2），使納米線交叉部位獲得局域的可控高能量輸入，實現定點材料修飾，降低了材料損傷(shang) ，以及提高了對輸入能量空間位置操控性，使得批量化納連接製造成為(wei) 可能。超快激光的引入將帶來相應的激光材料加工效應，進而極大地拓寬了常規激光納連接所無法實現的納連接材料範圍。

圖2 偏振光激勵下金納米線結構中的能量輸入特征。（上：實驗結果；下：模擬結果）

1 常規激光納連接技術

常規的激光納連接過程主要采用連續激光或長脈寬的脈衝(chong) 激光，材料對光子的熱平衡吸收與(yu) 傳(chuan) 導，使得局部納米接頭部位呈現強熱聚集輸入，促使接頭形成。同時由於(yu) 簡化的光源操作有利於(yu) 納米接頭的批量化成形，在基於(yu) 金屬納米線網絡的透明電極的製造中得到廣泛應用（如圖3）。

圖3 銅納米線低損傷(shang) 透明電極的激光納連接製造

然而受限於(yu) 材料對光子的吸收特性，該方法僅(jin) 限於(yu) 金屬納米結構的互連應用，限製了應用領域。同時由於(yu) 急劇的熱聚集效應，也對降低承載基體(ti) 的過度損傷(shang) 帶來一定的挑戰。

2 超快激光納連接技術

超快激光由於(yu) 極短的脈寬和極高的脈衝(chong) 能量密度，可在較低的平均激光功率下實現納連接。同時結合等離子激元對能量的重分布特征，使低損傷(shang) 高效同/異質納米線結構互連成為(wei) 可能，推動了新型納米材料在微納電子器件中的高性能製造與(yu) 應用。

2.1 金屬-金屬納米線結構

韓國浦項科技大學Dongsik Kim研究組利用脈寬50 fs的飛秒激光輻照PET基體(ti) 上銀納米線薄膜，實現了納米線接頭的低損傷(shang) 互連，獲得了透射率接近95%且導電性能優(you) 異的金屬電極，如圖4（a）。對比納秒激光，飛秒激光由於(yu) 其“非熱”加工特性，在較大的功率窗口內(nei) 對基板均無明顯損傷(shang) 。

中南大學Sun等采用高重頻的脈寬為(wei) 120 fs的飛秒激光輻照銀納米線網絡結構，在較低的激光功率密度下獲得了優(you) 異導電性能及機械性能穩定的透明導電金屬薄膜結構，如圖4（b）。由於(yu) 光激勵下的等離子激元效應使得材料變化僅(jin) 限於(yu) 納米線網絡的交叉結構，極大地降低了材料的損傷(shang) 。

清華大學鄒貴生教授和劉磊副教授團隊采用脈寬為(wei) 35 fs的飛秒激光係統研究了矽基體(ti) 上單一銀納米線結構的納連接過程，實現了交叉結構與(yu) 分支結構的可控納連接成形。通過控製激光輸入參數，促使窄間隙的納米線分枝結構接頭處金屬表麵原子的定向遷移，實現了無釺料添加的原位間隙自填充，並研究了基於(yu) 納連接的納米線光波導傳(chuan) 輸性能的優(you) 化，如圖4（c）。

圖4 飛秒激光銀納米線互連應用

2.2 金屬-氧化物納米線結構

加拿大滑鐵盧大學Norman Zhou教授團隊對銀和氧化銅納米線體(ti) 係的飛秒激光納連接進行了研究，激光輻照後在異質納米線之間將形成了機械穩定的納米接頭，由於(yu) 界麵處Ag(111)和CuO(111)晶麵進行了有效匹配，使肖特基勢壘得到極大改善，且電子在納米線結構間的傳(chuan) 輸得到了優(you) 化。

清華大學鄒貴生教授和劉磊副教授團隊進一步對基於(yu) 等離子激元效應的異質納米線結構在超快激光輻照下的連接行為(wei) 進行了係統性的研究，包括Ag-TiO2、Ag-SiC、 Ag-CuO納米線結構，以及跨尺度的Ag-TiO2、Au-SiO2@SiC、Au-ZnO等電極-納米線結構。結合對空間能量的可控輸入，實現了納米接頭形成時對異質界麵的精細化設計與(yu) 修飾，並基於(yu) 此開發出諸多功能電子器件單元如整流單元，憶阻器，電開關(guan) 等，同時開展了納米線互連結構器件在傳(chuan) 感領域的應用研究（如圖5）。

圖5 超快激光異質納米線結構互連及器件開發。（a）整流單元；（b）憶阻器；（c）p-n結；（d）電開關(guan)

2.3 氧化物-氧化物結構

基於(yu) 氧化物材料在超快激光輻照下對光子的非線性吸收特性，清華大學鄒貴生教授和劉磊副教授團隊進一步對無表麵等離子效應的氧化物-氧化物納米線結構的直接互連進行了研究。在ZnO-ZnO與(yu) CuO-CuO納米線體(ti) 係中，由於(yu) 表麵熔化特征而互連形成的接頭將極大保留納米線本身的物理化學性能，從(cong) 而對功能性氧化物（甚至半導體(ti) ）納米線結構或網絡的製造以及其在微納器件中的應用成為(wei) 可能（如圖6）。

圖6 超快激光氧化物納米線連接及光電傳(chuan) 感應用

三、 總結與(yu) 展望

超快激光納米線連接技術成功在多材料體(ti) 係、多材料維度下實現了低損傷(shang) 高效互連，並且相對於(yu) 傳(chuan) 統能量輸入的納連接工藝以及常規連續激光互連技術，極大地拓展了可連接材料的選擇範圍，簡化了連接工藝。同時由於(yu) 低損傷(shang) 互連，連接構造的納米線結構保持了材料自身的光電學性能，使得結構能夠在諸多潛在的光電子器件（如存儲(chu) 單元及電開關(guan) ）及傳(chuan) 感器（如氣體(ti) 、光信號及生物介質檢測）領域得到應用，展現了基於(yu) 超快激光納連接技術的巨大潛力。

然而基於(yu) 超快激光的納連接技術仍處於(yu) 起步階段，對超快激光-納米材料的相互作用機理和材料演化行為(wei) 仍需深入研究。特別地，仍存在包括強激光輻照產(chan) 生的局域電磁場下異質材料光子吸收特征、物質遷移過程、材料融合及異質界麵形成等亟待研究的共性問題。

總之，超快激光由於(yu) 其特殊的光學加工能力，在納尺度材料的互連及成形製造中展現極大的應用潛力，並將推動納米材料在微納器件領域的應用。

全文鏈接：林路禪, 邢鬆齡, 霍金鵬, 肖宇, 彭鵬, 沈道智, 劉磊, 鄒貴生. 超快激光納米線連接技術研究進展[J]. fun88官网平台, 2021, 48(8): 0802001

課題組介紹

清華大學機械工程係鄒貴生教授和劉磊副教授課題組主要從(cong) 事激光微納製造、電子封裝與(yu) 熱管理、焊接與(yu) 連接等方向研究，主要包括超快激光材料表麵微納結構/薄膜圖形化製備和改性、微孔加工、低溫連接高溫服役器件封裝、微納功能器件研發、新材料和特種材料焊接與(yu) 連接等。近5年來主持和參與(yu) 科技部重點研發計劃專(zhuan) 項項目、科技部國際科技合作專(zhuan) 項項目、國家基金委重點國際合作和麵上及青年項目、企業(ye) 合作應用研發項目等10餘(yu) 項。發表SCI論文130餘(yu) 篇，研究成果在能源、交通、航空航天、信息等領域的微納器件特別是功率器件封裝製造中得到應用。鄒貴生教授作為(wei) 國際焊接學會(hui) （IIW：Institute of World Welding）微納連接委員會(hui) (C-VII：Committee on Microjoining and Nanojoining)主席，多年來一直組織和參與(yu) IIW C-VII年會(hui) 、NMJ係列會(hui) 議（International Conference on Nanojoining and Microjoining）等國際學術會(hui) 議，致力於(yu) 推動納米連接基礎與(yu) 應用研究並形成了顯著的國際影響。