南極天文望遠鏡、空間引力波探測裝置、極大規模集成電路製造裝備、光刻機……這一係列關(guan) 鍵裝備的加工製造，都需要依靠超高精度的測量儀(yi) 器對大量光學元件的各項參數進行測量。以往，超精密測量技術受到國外封鎖，成為(wei) 製約高端裝備製造發展的瓶頸問題。

近日，由上海理工大學光電學院莊鬆林院士領銜的韓森教授團隊與(yu) 蘇州慧利儀(yi) 器有限責任公司共建聯合實驗室所研發的國產(chan) 化高端產(chan) 品——數字化激光幹涉儀(yi) 進展順利。據介紹，該項目研究成果技術難度大、創新性強，取得了多項自主知識產(chan) 權，部分產(chan) 品填補國內(nei) 空白，PV值測量等核心指標及相關(guan) 技術達到國際領先水平。

有裝備製造的地方就需要精密的測量儀(yi) 器

“簡單來說，幹涉儀(yi) 就是將激光分為(wei) 兩(liang) 束，照射至需要測量的器件上，再匯合產(chan) 生幹涉，從(cong) 而精確地測量出被測件表麵的形貌誤差，包括平麵、球麵、柱麵或者自由曲麵。”韓森向科技日報記者介紹，數字化幹涉檢測技術是結合光學幹涉測量原理與(yu) 計算機技術、能夠實現納米精度的非接觸式測量技術，是超精密光學計量、國家大科學裝置及工程、高端工業(ye) 檢測領域最重要的手段之一。

中國裝備製造要實現突破，首先要解決(jue) 製造質量問題，其核心關(guan) 鍵就是超精密測量能力。“有裝備製造尤其是高端裝備製造的地方，就需要精密的測量儀(yi) 器，國內(nei) 精密測量儀(yi) 器不能照搬國外的那一套，我們(men) 必須把核心技術掌握在自己手中。”韓森說道。

團隊針對中國高端檢測儀(yi) 器和技術的需求，係統性地開展了模塊化激光幹涉儀(yi) 設計以及應用的關(guan) 鍵技術的研究與(yu) 攻關(guan) 。他們(men) 首先基於(yu) 模塊化設計思路開發了激光幹涉儀(yi) 的核心關(guan) 鍵部件和測量軟件，形成了多種型號高精密數字化激光幹涉儀(yi) ；接著在滿足高精度相對測量基礎上提出絕對檢測算法和閉環自檢技術，使平麵麵形檢測精度提高5倍。

在雙重身份中縮短創新與(yu) 市場的距離

技術創新到市場，還有多遠的路需要走？“最後一公裏”是科技成果轉化的普遍難題。

“早在2018年，上理工就與(yu) 蘇州慧利儀(yi) 器有限責任公司共建聯合實驗室，以人為(wei) 紐帶，讓高校教授長期深度對接產(chan) 業(ye) ，更有利於(yu) 盤活一係列資源。”韓森表示，在“大學教授”和“創業(ye) 者”的雙重身份下，高校的基礎創新與(yu) 企業(ye) 的技術實踐緊密綁定，提高了科研成果轉化率和使用效益。

目前，項目成果完成了數字化激光幹涉儀(yi) 的工程化，研製出多種口徑的商業(ye) 化檢測儀(yi) 器，實現“產(chan) 學研用”的完美結合。相關(guan) 產(chan) 品及技術已經在國家計量單位、國家大科學裝置及工程、高精密光學機械加工行業(ye) 等多家企事業(ye) 單位進行推廣應用，有助於(yu) 提升中國高端檢測儀(yi) 器在市場的占有率，推動高精密檢測技術發展。

項目團隊還參與(yu) 起草國家行業(ye) 標準、國家平晶檢測規程和數字式球麵幹涉儀(yi) 校準規範工作，填補國內(nei) 空白。項目授權發明專(zhuan) 利5項、實用新型專(zhuan) 利5項，發表論文10餘(yu) 篇，榮獲中國產(chan) 學研創新成果一等獎、日內(nei) 瓦發明展特別金獎等多個(ge) 獎項。