9月27日，2021“紅光獎”第四屆fun88官网平台行業(ye) 創新貢獻獎頒獎典禮在深圳落下帷幕。大族顯視與(yu) 半導體(ti) 憑借創新研發和專(zhuan) 業(ye) 服務，經過網絡投票及專(zhuan) 家評委評審後，成功入圍並一舉(ju) 榮獲“激光微加工係統創新貢獻獎”。

激光微加工係統創新貢獻獎

獲獎產(chan) 品

全自動晶圓激光開槽設備

產(chan) 品概述：

用於(yu) 帶Low-K材料或金屬鍍層的晶圓，在晶圓表層開槽，以便於(yu) 後續切割。

產(chan) 品特點：
1.采用超短脈寬激光加工，有效提升開槽效果；

2.整合多種激光微加工技術，切割效率和工藝窗口兼備；

3.采用複合多光路加工模組，多種切割功能任意組合切換；

4.具備自動上下料功能，無人值守全自動運行，批量化生產(chan) ；

5.高精度視覺檢測係統，保障劃痕位置。

創新與(yu) 突破：
1.自主研發的先進光路整形係統，極大提升整體(ti) 工藝效果，達到同類設備領先水平；

2. 突破性的使用綠光皮秒激光器，成功打破國外品牌的技術壁壘；

3. 精確的軟件開關(guan) 光控製係統，可以實現多種芯片晶圓（MPW）的一次性切割；

4. 在當前同類設備無國產(chan) 替代，進口設備壟斷整個(ge) 行業(ye) 的情況下，通過自主研發，成功於(yu) 2018年推出的首台國產(chan) 自主開發low k晶圓開槽設備，填補了國內(nei) 此類設備的空白。

大族顯視與(yu) 半導體(ti) 將繼續秉持“創新驅動發展，製造崛起未來”的理念，深耕行業(ye) ，緊隨市場，在高質量發展的道路上加速前行！