據SEMI統計，全球半導體(ti) 設備2020年的市場規模較2019年598億(yi) 美元同比增長19％，達到712億(yi) 美元的曆史新高。中國首次成為(wei) 全球最大的半導體(ti) 設備市場，2020年市場規模增長39％，達到187.2億(yi) 美元。未來，全球半導體(ti) 設備市場規模將持續增長，預計2022年將達到1013億(yi) 美元。

晶圓檢測是半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 的關(guan) 鍵技術

集成電路的應用近年來呈現多元化發展，智能手機、物聯網、汽車電子、高性能計算、5G、人工智能等新興(xing) 領域對芯片的需求量呈指數級增長，對芯片的質量和可靠性也提出了更高要求。產(chan) 品微型化的發展趨勢要求晶粒的尺寸不斷減小，生產(chan) 過程中可能產(chan) 生更多的微小缺陷。為(wei) 了減少在後道封裝過程中的不良品出現，在生產(chan) 過程中對芯片進行缺陷檢查、尺寸測量等，成為(wei) 提供優(you) 質芯片、提高產(chan) 品良率的關(guan) 鍵技術。

晶圓缺陷

半導體(ti) 晶圓檢測設備市場空間巨大

目前國內(nei) 半導體(ti) 檢測技術與(yu) 國外差距依舊很大，設備主要依靠進口。以色列、美國、日本以及德國在IC晶圓檢測技術和設備生產(chan) 製造領域仍處於(yu) 較領先的地位，國產(chan) 設備及相關(guan) 技術還處於(yu) 起步發展階段。目前，進入我國市場的國外半導體(ti) 檢測設備公司主要有Applied Materials.，KLA-Tencor，Rudolph，Camtek等幾家。根據KLA-Tencor，Rudolph，Camtek的市場銷售評估預測，未來3~5年內(nei) ，半導體(ti) 晶圓檢測設備將有巨大的市場空間，預計2022年全球市場規模達到15億(yi) 美元。

近年來中國大陸半導體(ti) 設備市場規模占全球半導體(ti) 設備市場規模的比例逐年攀升，2020年中國大陸半導體(ti) 設備市場規模占全球半導體(ti) 設備市場規模的26.33%，較2014年的11.73%增長了14.60%。中國半導體(ti) 晶圓檢測設備的市場規模占全球比例也不斷攀升，預計2022年將達到10.5億(yi) 美元。

大族激光加速設備國產(chan) 化進程

大族激光洞悉中國半導體(ti) 檢測市場需求，憑借在LED行業(ye) 的檢測技術經驗積累，同時以以色列子公司NEXTEC作為(wei) 平台，延攬以色列資深視覺檢測應用研發人才，組建了一支集合中以優(you) 秀檢測技術專(zhuan) 家的實力雄厚的研發團隊。結合以色列團隊在半導體(ti) 檢測領域的強勁實力、豐(feng) 富經驗，大族激光緊跟國內(nei) 客戶需求，將快速推進半導體(ti) 晶圓檢測設備的國產(chan) 化進程。

大族以色列團隊依托20餘(yu) 年的行業(ye) 經驗，結合大族中國團隊的市場化能力，現已推出最新係列檢測產(chan) 品： IFOX係列自動化光學晶圓檢測設備。該設備適用於(yu) 8寸&12寸 bare wafer和frame wafer的2D宏觀缺陷檢測、尺寸測量和3D Bump測量，可實現對晶圓各種特征的多維度檢測。

IFOX係列自動化光學晶圓檢測設備

01

設備優(you) 勢

1、快：

● 成像質量:使用最先進的相機技術以實現超快速度且極小像差的掃描；

● 量測集成包：大族激光是第一家使用量測集成包的公司，能夠以一種簡單方便的方式創建一個(ge) 快速的量測方案；

2、準：

● 光學係統:使用自主先進的大視野顯微鏡，配有高級照明係統和即時聚焦技術；

● 缺陷查找：使用先進的智能缺陷算法以克服製程工藝帶來的變異；

● 直線高精電機，XYZ平台, 100納米分辨率；

● 機械結構200納米精度；

3、穩：

● 潔淨化設計 (運動平台在晶圓下側(ce) )；

● 浮式基座平台減小設備震動影響。

02

主要功能

● 操作界麵簡單易用，縮短檢測程序Recipe的編製時間；

● 采用獨特的放大倍率鏡頭直線切換方式，可適應不同精度的檢測和複查需求；

● 自主研發的光學係統設計和精密運動控製實現晶圓的高速、高分辨率掃描；

● 自主研發的深度學習(xi) 、AI智能檢測和分類算法具有行業(ye) 領先地位；

● 采用超高速白光三角法3D掃描和專(zhuan) 用優(you) 化算法；

● 具備online/offline review兩(liang) 種缺陷複查功能；

● 可實現高速自動對焦，能滿足不同翹曲度的晶圓；

● 可兼容8寸&12寸bare wafer和frame wafer。

03

性能參數

設備性能

主要參數

04

檢測效果

大族激光在光學傳(chuan) 感和尺寸量測領域擁有多項專(zhuan) 利，具備視覺和激光掃描檢測算法、運動控製係統和光學測量的專(zhuan) 業(ye) 設計、研發、生產(chan) 能力。大族激光將持續全力推進超高精度全自動光學檢測關(guan) 鍵技術研發與(yu) 優(you) 化，並保持精益求精的態度，為(wei) 客戶提供快速、準確、穩定的自動化檢測解決(jue) 方案和工藝信息化質量管理係統，助推國產(chan) 設備的進口替代。