大功率超快激光技術實現新突破
近年來,激光光源技術及應用成為(wei) 眾(zhong) 多產(chan) 業(ye) 中必不可少的智能製造裝備,其中極具代表性的高功率光纖激光器、納秒紫外激光器及超短脈衝(chong) 激光精密加工應用在工業(ye) 應用中全麵爆發。高功率超快碟片激光器的高輸出功率、高轉換效率、高光束質量和模塊化設計等優(you) 勢,推動了高功率碟片激光器在工業(ye) 上的重要應用,已經廣泛應用於(yu) 新能源汽車製造、芯片製造等高新技術企業(ye) 。目前僅(jin) 有德國斯圖加特大學和德國通快公司掌握著高功率碟片激光器研製的關(guan) 鍵核心技術。

深圳技術大學科研團隊經過多年的持續研究,開發了國內(nei) 領先的超高功率皮秒碟片激光器。項目團隊基於(yu) 碟片激光技術平台,攻克碟片高效散熱關(guan) 鍵技術、多衝(chong) 程泵浦關(guan) 鍵技術和再生放大腔等一係列關(guan) 鍵核心技術,在國內(nei) 首次實現了單脈衝(chong) 能量>500μJ、脈衝(chong) 寬度<7.5ps、重複頻率在50kHz-1000kHz範圍內(nei) 連續可調、平均功率>200W的激光輸出,尤其是光束質量M2<1.1、光-光轉換效率>50%的優(you) 良性能,可廣泛應用於(yu) 玻璃、藍寶石和陶瓷的切割與(yu) 鑽孔,以及光伏太陽能、半導體(ti) 晶圓等精密微加工領域,具有廣闊的市場前景。
聚焦激光技術創新 服務國家重大需求 深圳技術大學從(cong) 建校初期就將光電子技術、激光光源技術及應用作為(wei) 重點學科方向,依托先進光學精密製造技術廣東(dong) 普通高校重點實驗室、深圳市激光工程重點實驗室、中德智能製造學院、工程物理學院引進了一批具有較高理論及技術實力的研究人員,同時與(yu) 德國阿倫(lun) 應用技術大學、雷根斯堡應用技術大學、慕尼黑應用技術大學、亞(ya) 琛激光研究所等開展緊密合作。針對先進激光光源技術及激光微納製造工藝,深圳技術大學與(yu) 大族激光、泰德激光、聯贏激光、傑普特光電、海目星激光智能裝備等多家企業(ye) 的開展校企合作和聯合技術攻關(guan) ,實現學校的優(you) 質科研資源和企業(ye) 的先進產(chan) 業(ye) 資源精準對接,為(wei) 產(chan) 業(ye) 發展提供強大的支撐。 圖|200TW高對比度飛秒激光器 經過多年來的研究積累,項目團隊依托學校的先進光學精密製造技術廣東(dong) 普通高校重點實驗室,與(yu) 激光行業(ye) 多家企業(ye) 開展緊密的校企合作,已經構建了“全光纖”和“半導體(ti) 泵浦固體(ti) 行波級聯放大”兩(liang) 大激光技術平台,攻克了高效諧波頻率變換關(guan) 鍵技術。采用具有自主知識產(chan) 權的超短脈衝(chong) 種子源及多級光纖-固體(ti) 混合放大器方案,實現了中心波長為(wei) 1064 nm、平均功率>300W、脈衝(chong) 能量>500μJ、脈衝(chong) 寬度<8ps、峰值功率>80MW的高功率皮秒激光及105W皮秒紫外(355nm)的工業(ye) 應用激光輸出。該成果獲得2021年廣東(dong) 省科技進步一等獎。具有皮秒或飛秒量級脈衝(chong) 寬度的超快激光由於(yu) 其窄脈寬、高峰值功率的特性,在基礎科學、工業(ye) 生產(chan) 、生物醫學以及國防軍(jun) 事等領域具有重要的應用。實驗室聚焦國家重點戰略需求,力求攻克激光領域中的“卡脖子”技術難題,推進激光精密加工、新能源產(chan) 業(ye) 、芯片製造等戰略高技術領域的創新發展。 先進光學精密製造技術廣東(dong) 普通高校重點實驗室 先進光學精密製造技術廣東(dong) 普通高校重點實驗室為(wei) 省級重點實驗室,依托深圳技術大學中德智能製造學院建設,專(zhuan) 注於(yu) 高功率超快激光、中紅外激光、激光頻率變換技術、穩定超熒光光源、先進激光微納製造技術、特種材料激光焊接技術等領域關(guan) 鍵技術研究與(yu) 設備開發。 今後,項目團隊將繼續依托該實驗室開展相關(guan) 研究,以“需求牽引、突破瓶頸”為(wei) 目標,進一步提升超快激光器的輸出功率、突破紫外/深紫外激光器的技術瓶頸,為(wei) 工業(ye) 和科研應用服務。同時,結合深圳技術大學辦學特色,發揮項目優(you) 勢,為(wei) 行業(ye) 培養(yang) 更多先進激光技術及應用領域高端應用型人才。 




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