據悉，鐳測科技公司經過7年的研發，國內(nei) 首次研究成功可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器，已經批量生產(chan) 。這一成果終結了我國50年靠玻璃吹製氦氖激光器的曆史，有力推動我國高端激光儀(yi) 器的發展。

　　清華大學教授、鐳測科技公司顧問張書(shu) 練表示，氦氖激光器，是氣體(ti) 激光器的一種，是氣體(ti) 激光器中最先研發問世的產(chan) 品類型。氦氖激光器是以中性原子氣體(ti) 氦和氖為(wei) 工作物質、由放電管和光學諧振腔構成的激光器，可輸出連續激光。氦氖激光器工作在可見光與(yu) 紅外光頻段，可輸出綠光5435nm、紅光632.8nm、紅外光1.15μm和3.39μm等多種波長。其中，紅色波長632.8nm在氦氖激光器家族中有獨一無二的品質，應用最廣泛。波長632.8nm氦氖激光束質量高、光束橫截麵上光強度非常接近完美的高斯分布，非常小的發散角，傳(chuan) 播百米後光斑直徑還保有幾毫米大小；輸出功率穩定，噪聲非常低；有天然的頻率（波長）穩定點，波長穩定性可以非常高，可以做到1小時時間內(nei) 632.8nm僅(jin) 漂移百萬(wan) 甚至億(yi) 分之一；造價(jia) 低，可靠性高，一致性好互換性強等。

　　張書(shu) 練指出，氦氖激光器在儀(yi) 器儀(yi) 表，精密測量方麵應用廣泛，無可替代。國內(nei) 外的單頻幹涉儀(yi) ，雙頻幹涉儀(yi) ，麵型幹涉儀(yi) ，測振儀(yi) ，橢偏儀(yi) ，激光陀螺儀(yi) 等都采用氦氖激光器做光源，這些儀(yi) 器是精密機床、光刻機、航空、航天、機械和光學加工，薄膜技術等領域精度的保證。我國這些產(chan) 業(ye) 向高端發展的速度加快，市場對相關(guan) 儀(yi) 器的需求將持續增長，將會(hui) 拉動我國對可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器需求規模不斷擴大。

　　根據新思界產(chan) 業(ye) 研究中心發布的《2022-2026年氦氖激光器行業(ye) 深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，2021年，全球氦氖激光器市場規模約為(wei) 0.74億(yi) 元；預計2021-2026年，全球氦氖激光器市場將以4.2%左右的年均複合增速增長，到2026年市場規模將達到0.91億(yi) 元左右。在全球市場中，氦氖激光器生產(chan) 商主要有美國Lumentum Operations、美國Melles Griot（被Pacific Lasertec收購）、美國Thorlabs、美國Excelitas Technologies、德國Lasos、德國Phywe、日本Neoark。

　　張書(shu) 練表示，多年來，我國依賴玻璃吹製技術生產(chan) 氦氖激光器（管），激光器之間一致性較差，穩定性不佳，不能達到各類激光儀(yi) 器的應用要求。過去幾十年，雖然國內(nei) 也有對可伐-玻璃組裝式（無吹製）氦氖激光器進行了研究，但沒有堅持下來，也曾引進了一條國外（裝配）生產(chan) 線，運行幾年，終因沒有自己元器件供應鏈，沒有自己的工藝被迫停產(chan) 。激光儀(yi) 器儀(yi) 表儀(yi) 器裝配的氦氖激光器都從(cong) 國外購買(mai) ，因為(wei) 容易頻率突跳或不出雙頻振蕩，淘汰率很高。

　　鐳測科技自主研發的可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器用已成批用於(yu) 雙頻激光幹涉儀(yi) 上和光刻機的失效激光器替換。用作雙頻激光器時，激光功率可以達到1.3mW以上，激光頻率差可選定3MHz、7MHz、10 MHz、20 MHz，或更大，這是國內(nei) 外以前沒有實現的。此外，之前，不論是單頻還是雙頻激光幹涉儀(yi) ，國產(chan) 還是國外購買(mai) ，各型號都有幾納米甚至十幾納米的非線性誤差，可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器作光源的雙頻激光幹涉儀(yi) 非線性誤差不大於(yu) 1納米。