嘉賓介紹:

• 英諾激光光伏總經理 晏博士

• 英諾激光董事會(hui) 秘書(shu) 張勇

•  晏博士

阿秒激光器：單份能量發出的持續時間10^-18秒的量級，脈衝(chong) 激光器（光伏中應用最多的激光器之一）的一種，目前多用於(yu) 科學研究領域。

圖中10^-18s以上的激光器已被廣泛應用於(yu) 泛半導體(ti) 領域。

為(wei) 什麽(me) 要把脈衝(chong) 寬度做窄？

微觀粒子通過碰撞傳(chuan) 熱，熱輸入後會(hui) 被迅速傳(chuan) 導到其他地方，破壞材料。當把脈衝(chong) 壓縮到微觀粒子的傳(chuan) 導時間，材料來不及發生熱傳(chuan) 導就被融解，可以實現冷加工。

左圖：連續激光，相當於(yu) 能量持續輸入。

右圖：脈衝(chong) 激光。

激光與(yu) 材料的作用過程

1）連續激光：在材料表麵產(chan) 生更大的熱影響區。

2）脈衝(chong) 寬度壓縮到納秒量級：瞬間氣化材料表麵，同時產(chan) 生衝(chong) 擊波。

3）脈衝(chong) 寬度壓縮到皮秒/飛秒量級（小於(yu) 絕大多數材料晶格的碰撞係數）：晶格在震動之前，材料就被氣化，依然會(hui) 產(chan) 生衝(chong) 擊波，有少許機械損失。

脈衝(chong) 激光作用下，材料內(nei) 部的物理模型

左圖：長脈衝(chong) （納秒量級以上），所有物理損傷(shang) 都會(hui) 產(chan) 生，表麵的破壞接近熔坑的重熔和內(nei) 部的熱影響區，破壞材料原有晶胞大小（變大）。

右圖：脈衝(chong) 壓縮到皮秒/飛秒量級，表麵幾乎沒有破壞，材料得到很好的保護。

脈衝(chong) 激光作用下，材料表麵的物理模型

激光與(yu) 材料發生高能、瞬間的反應，導致等離子體(ti) 飛濺。

優(you) 點：快速帶走材料。

缺點：附近區域產(chan) 生粉塵，1，造成汙染擴散；2，形成等離子體(ti) 雲(yun) ，阻擋後續激光輸入，導致工藝不穩定。（例如：BC電池開膜時）。

直接減材法：已經用於(yu) BC量產(chan) 的技術

原理：超短脈衝(chong) 打掉表麵材料。

優(you) 點：可作用於(yu) 任意區域。

公司可以提供多種激光器：波長最短可實現266nm，脈寬最短做到百飛秒級（工業(ye) 應用端）。

公司主要做固體(ti) 激光器，固體(ti) 激光器是超快激光器的主流路線。

圖（1，1）：氮化矽上開膜，355nm皮秒激光器（波長越短，激光能量越高，聚焦性越好，將激光定位在前表層）。該應用上，公司追求光斑尺寸的極致控製，在金字塔表麵開小窗口，給電路工藝提供良好的基礎。

圖（2，1）對應電鏡結構圖，表明開槽對底部材料沒有任何損傷(shang) 。

圖（1，2）PSG上大規模開模，尺寸達240um。該應用上，公司追求開模效率和底部平坦。

圖（1，3）1064nm近紅外飛秒激光器。該應用是打掉矽上的銀，右邊是銀，左邊是矽。

開槽尺度情況

納秒激光器：百納米～微米量級。

飛秒激光器：略小於(yu) 納秒，做不到幾納米，但是表麵形貌更好。

如右圖，515nm激光器開槽底部更平坦。

間接減材法：功率器件、芯片製造等領域有應用。

最常見的是激光成像曝光（LDI），利用藍紫光激光器，通過數字or 光學掩膜完成曝光，成本相對較高，光伏未必能接受。

激光輔助化學腐蝕是一種替代方案，用激光對相應區域的材料進行改性，使得在強酸強堿中表現出不同的腐蝕速度。

增材法：工藝相對複雜，多用於(yu) 泛半導領域。

選區需求下將展現出競爭(zheng) 力。尤其是激光可以柔性加工，嵌入到製造環節縮短BC電池工藝步驟，所以公司看好這個(ge) 方向。

以下三種是未來有望用於(yu) 光伏的技術：

1）脈衝(chong) 激光沉積：超短脈衝(chong) 激光器，高能量、短時間打在靶材上，通過靶材轟擊讓材料沉積到目標材料。現在的尺度可以做到百納米～微米量級。典型應用：導電圖形、鈍化圖形。

2）激光誘導熱氧化：原理和熱氧一致，區別在於(yu) 激光可以自主圖形化，在選區結構上非常有利。現在尺度可以做到幾十納米以下。

3）激光誘導相變：比熱影響區更溫柔的反應。相對成熟的應用：誘導單晶矽相變成多晶，改變材料電、光、磁性能，可以製造選區poly層，製造圖形化隧穿層。

激光與(yu) 金屬化重點關(guan) 注3個(ge) 方麵

1）激光衝(chong) 擊強化：激光作用在柵線周圍區域，產(chan) 生光生載流子，利用光伏效產(chan) 生電流，衝(chong) 擊歐姆接觸不良的位置，獲得更良好的歐姆接觸。同時結合燒結工藝，強化柵線。

2）LSP使激光直接燒結成為(wei) 可能。有望結合燒結、彌補燒結窗口兩(liang) 個(ge) 工藝。

3）激光蝕刻?電鍍：用365年nm激光器開槽，應用於(yu) 電鍍銅環節，目標實現圖形化替代絲(si) 網印刷。

公司QuaPulse技術：

精準控製窗口和深度。單一波長做時，為(wei) 了延伸擴散長度，必須選擇拉長的脈衝(chong) 寬度，增大對材料表麵的破壞。解決(jue) 方案是多波長組合，長波長實現深層開槽，短波長做淺表麵開槽。

公司其他有望應用於(yu) 光伏領域設備

公司概況

英諾光伏設備（江蘇）有限公司，是英諾激光投資設立的新能源產(chan) 業(ye) 全資子公司，專(zhuan) 注於(yu) 光伏電池，組件自動化生產(chan) 設備的研發和製造。

     公司已成功研發並推向市場的量產(chan) 設備有TOPCon電池激光SE直摻設備，激光衝(chong) 擊強化LSP量產(chan) 設備，激光超細柵設備，BC電池激光開膜設備等。英諾光伏設備（江蘇）有限公司背靠英諾激光，除了有光伏自動化能力之外，還有強大的激光器技術和光學工藝開發能力，在行業(ye) 中獨樹一幟

01  TOPCon電池激光SE直摻設備

02  激光衝(chong) 擊強化LSP量產(chan) 設備

03BC電池激光開膜設備

QuaPulse™

更強大的激光技術

隨著激光技術在精密加工，醫學成像，光學檢測等領域的廣泛應用，常規的激光調控手段，如脈衝(chong) 能量調製，空間聚焦等手段已經無法滿足精益求精的應用。

     英諾激光自研通過更複雜的激光脈衝(chong) 調控手段，例如脈衝(chong) 形態、脈衝(chong) 間隔、空間能量分布、波長組合等各種形式調控，獲得更加卓越的效果。並開發了各種配套的控製器、光學係統、軟件、激光器等，將其應用到了各種領域。

     QuaPulse^TM激光時空調製技術通過多維度精準調製手段，可實現更加複雜的摻雜調控。表現為(wei) 方阻調控範圍大，損傷(shang) 小且可控。

XBC激光開膜技術

激光開槽技術在 XBC 電池上的應用主要為(wei) 刻蝕掩膜、製備 PN 區交叉指結構；PN 區隔離及鈍化膜開槽。XBC電池因其單麵發電量高且美觀，適宜高端分布式使用。

英諾-激光器

     英諾532nm綠光皮秒激器單脈衝(chong) 能量可達300μJ以上，優(you) 越的光束質量（M²<1.1）和完美的光斑圓度（>95%）及脈衝(chong) 穩定性，滿足大光斑整形的需求及XBC電池開膜的能量需求。

近日，英諾激光LSP技術再次實現突破，助力TOPCon電池效率突破26.2%，效率增益達0.3%以上，開壓高達732mV。

激光衝(chong) 擊強化LSP量產(chan) 設備

—英諾光伏設備(江蘇)有限公司—

英諾激光LSP量產(chan) 設備已經正式推出，現麵向整個(ge) 行業(ye) 推廣。LSP技術的量產(chan) 導入可以快速實現TOPCon電池的降本增效，提高電池片檔位和組件功率，為(wei) 高效晶矽電池的發展注入強勁動力。目前已獲得批量訂單。

TOPCon SE技術助力

光伏客戶降本增效

近日，英諾激光戰略合作客戶普樂(le) 科技（POPSOLAR）N型TOPCon電池經德國萊茵TÜV集團效率測試認證。公司所提供的激光SE直摻設備獲得客戶高度認可，並獲得越來越多頭部客戶的訂單。

一

助力客戶電池效率提升

效率測試認證

在此次效率測試認證中，TÜV萊茵依據IEC 60904-1:2020、IEC 60904-1-2:2019、IEC 60891:2021、IEC 60904-7:2019、IEC 60904-8:2014技術規範標準要求，對普樂科技N型TOPCon電池進行了電性能全麵測試。

普樂(le) 科技泰興(xing) 基地一期TOPCon電池片項目於(yu) 5月18日正式下片後，在團隊夜以繼日的共同努力下，生產(chan) 線效率和良率快速爬升。其中，公司的激光SE設備及工藝助力客戶量產(chan) 電池提效達0.25%以上，贏得了客戶的高度認可！

開發專(zhuan) 用激光器及光學係統

第三代TOPCon激光SE設備