8 月 25 日消息，天眼查知識產(chan) 權信息顯示，蘇州科韻激光科技有限公司取得一項名為(wei) “一種 LED 晶圓片的切割方法、係統及設備“，授權公告號 CN114346478B，申請日期為(wei) 2022 年 2 月。

專(zhuan) 利摘要顯示，本發明公開了一種 LED 晶圓片的切割方法、係統及設備，所述方法包括：激光器以脈衝(chong) 串輸出原始激光束；通過激光束整形組件將所述原始激光束轉換成衍射激光光束；所述衍射激光光束經過聚焦物鏡聚焦,在 Z 方向上形成若幹個(ge) 焦點；將 LED 晶圓片放置在可以移動的 X、Y 方向平台上，使聚焦後的衍射激光光束聚焦到所述 LED 晶圓片內(nei) 部，移動 X、Y 方向平台，沿著移動的方向在所述LED 晶圓片內(nei) 部形成若幹個(ge) 激光炸點；將所述LED 晶圓片通過外力輔助沿所述激光炸點軌跡切割，以形成多個(ge) 單獨的晶粒。本發明能夠滿足各類 MiniLED 晶圓片的切割需求，使得切割的晶圓片斜裂角度控製在 2 度以內(nei) ，切割無錐度；同時切割後 LED 晶圓片的正麵和反麵直線度可以控製在 5μm 以內(nei) 。