窄脈寬、短波長紫外二極管泵浦固體(ti) 激光器(solid laser)（DPSS）的最新進展促進了工業(ye) 生產(chan) 係統的發展。過去，DPSS激光器比較適用於(yu) 科研而不適於(yu) 工業(ye) 生產(chan) 。隨著 DPSS激光器的進展，現已開辟出很多可能的應用，包括紅外、脈衝(chong) 連續波以及Q開關(guan) 產(chan) 生具有多脈衝(chong) 寬度的脈衝(chong) 光波。與(yu) 其他種類的激光器相比，DPSS激光 器在調控脈衝(chong) 形狀、重複頻率和光束質量等方麵具有較大的靈活性，其生成的諧波允許用戶獲得適於(yu) 多種材料加工的較短波長的光束。

激 光器的選擇不僅(jin) 與(yu) 應用有關(guan) ，而且與(yu) 激光束的特性直接相關(guan) 。例如，用於(yu) 大麵積圖形加工的準分子激光器能發出具有較低脈衝(chong) 重複頻率（一般低於(yu) 1kHz）的較粗 光束。準分子能產(chan) 生具有中等脈衝(chong) 重複頻率的高脈衝(chong) 能量的激光束。目前所使用的基於(yu) Nd∶YVO4的DPSS激光器能產(chan) 生大約1?滋m波長的紅外光束，利用 諧波振蕩器進行二倍頻（輸出綠光）、三倍頻（輸出近紫外光）或者四倍頻（輸出深紫外光）。

1光子的成本費用

利 用紫外DPSS激光器產(chan) 生光子的成本費用要高於(yu) 用準分子激光器產(chan) 生光子的費用，但相比之下，紫外DPSS激光器具有加工處理速度快、靈活性大、光束利用效 率高和生產(chan) 率高等優(you) 點。在許多應用中，如芯片劃割或打細孔等，這些優(you) 點足以彌補差額費用；而準分子激光器在退火中的泛光束曝光和用近場掩模成像的大麵積圖 形加工處理（在這裏掩模具有勻化光束的作用）中仍占優(you) 勢。

一 個(ge) 100W的準分子激光器能輸出大約60W的有效運轉功率。100W激光器的平均售價(jia) 大約為(wei) 14萬(wan) 美元，每瓦的輸出功率成本費用約為(wei) 2300美元。相比之 下，一個(ge) 輸出功率為(wei) 2W的266nm的DPSS激光器係統的價(jia) 格為(wei) 13萬(wan) 美元，每瓦的成本實際上為(wei) 65000美元。因此，準分子激光器產(chan) 生光子的成本費用 遠低於(yu) 紫外光子的成本費用。若用光子泛光照射以去除芯片上的大量材料，準分子激光器係統的性價(jia) 比無疑是最合適的；但若是把同樣的芯片切割成小塊，用紫外光 子則能使加工成本降低3倍，因為(wei) 利用紫外光子能把切割線寬從(cong) 準分子激光束的15?滋m縮小至5?滋m。

如 果準分子激光器不使用昂貴的光學係統，則不能聚焦成5?滋m小的光斑，而DPSS激光器使用較便宜的光學係統就能聚焦成5?滋m的光斑。實際上，2W的 DPSS激光器相當於(yu) 6W的準分子激光器。如果6W準分子激光器是60W激光器係統使用其10%的時間來獲得的，那麽(me) 在這種應用中，DPSS激光器具有較 高的性價(jia) 比。

在20世紀90年代中期，人們(men) 開始用準分子激光器切割藍光發光二極管的芯片和宇宙飛船組件上的藍寶石芯片。1998~1999年，利用準分子激光器係統中25%的激光束每小時能生產(chan) 3個(ge) 芯片，使用複雜的光學係統對光束進行幾何分光、最優(you) 化，然後將光束重新聚焦到芯片上。

JPSA激光公司現已成功研製出一種性能可靠的266nm短脈衝(chong) DPSS激光器，通常使用355nm和266nm這兩(liang) 種波長。采用這種激光器可提高芯片的加工產(chan) 量，每小時能加工8~10塊芯片。

當為(wei) 某一種應用優(you) 化設計DPSS激光器時，一個(ge) 可以聚焦得相當好的光束允許用戶把很多光能集中到一個(ge) 很小的光斑內(nei) 。這種優(you) 化設計的激光器可進行多種加工任務，例如機械加工凹槽和比較深的孔。與(yu) 難以聚焦成小光斑的較低亮度的激光束相比，DPSS激光器隻須較少的光功率。

在 芯片刻劃或硬質材料刻劃及切割中，DPSS激光器能在一個(ge) 很小的麵積內(nei) 有效地穿透材料，一般利用成像物鏡把光束聚焦成一點，用焦點處的光斑進行加工，而準 分子激光器是利用成像物鏡把光束成像為(wei) 一個(ge) 圖案。實際上，用戶是用DPSS激光器的光斑直寫(xie) 圖形，因而具有較大的靈活性，例如控製光斑移動寫(xie) 入圖形的輪廓 形狀及畫圓形拐角等；而用準分子激光器進行加工時，光束聚焦呈一線狀光束，在一個(ge) 方向上進行刻劃，故刻劃出的圖形靈活性較差。

2優(you) 先選用較短脈衝(chong)

利 用DPSS激光器可加工陶瓷、藍寶石、所有Ⅱ~Ⅵ族材料、氮化镓、砷化镓、磷化銦、磷化镓和聚合物等材料。在加工時應避免使零件受熱，因為(wei) 在高重複頻率情 況下，輻射到零件表麵的功率密度很高，故導致溫度快速升高。目前已有幾種技術能夠在快速加工的同時保持熱不侵入到被加工的零件。

功 率密度和能量密度在加工中非常重要。功率密度的基本物理意義(yi) 是：每秒鍾到達零件表麵上的脈衝(chong) 數量；而能量密度是光束聚焦密度的函數。即使采用紫外激光器， 加工熱過載現象仍會(hui) 發生。短脈衝(chong) DPSS激光器在材料加工處理中產(chan) 生熱影響區較小，同時具有靈活的加工控製。脈衝(chong) 數決(jue) 定切割深度，短脈衝(chong) 激光的高亮度（能 量密度）為(wei) 快速加工處理提供很多優(you) 越性。

短脈衝(chong) 紫外DPSS激光器利用多光子吸收過程進行加工。如果能在較短時間周期內(nei) 產(chan) 生更多的光子，其能量便會(hui) 增加並同時去除加工材料。使用的激光器為(wei) 5~15ns，而大多數商品DPSS激光器在20~100ns範圍內(nei) 。科學家們(men) 目前正研究皮秒和飛秒脈衝(chong) 激光器係統。

DPSS 激光器技術和加工能力的最新進展及其在魯棒性和可靠性方麵的提高使其在工業(ye) 加工領域得到了廣泛應用。然而，目前幾乎所有燈泵浦固體(ti) 激光器(solid laser)都存在改變重複頻 率和晶體(ti) 材料變熱的問題，這說明光束質量是動態變化的。較新型的固體(ti) 激光器(solid laser)采用激光二極管的單色光束泵浦，因而散發到激光棒裏的熱量比較少，用戶能得到一 個(ge) 更好的聚焦光束。這些新型激光器有很高的可靠性，使用壽命在7500~10000h以上。與(yu) 準分子激光器相比，這些激光器具有非常高的可靠性，這一點尤 為(wei) 重要。準分子激光器需要較多的維修服務，每運行100h後，需清潔光學係統和更換氣體(ti) 等。

當 購買(mai) 工業(ye) 等級的266nmDPSS激光器時，要對其進行全麵測試，使所要購進的激光器能滿足您所期望的要求。激光器必須安放在工業(ye) 環境使用的堅固封裝機殼 內(nei) ，這樣易於(yu) 集成、使用壽命長、維護保養(yang) 簡單和加工精度高等，且不需要更換燈、清潔晶體(ti) 、更換光學係統和窗口零件或者更換氣體(ti) 等。