準分子激光器是氣體(ti) 激光器家族中一名非常特殊的成員，其工作物質由惰性氣體(ti) （氖、氬、氪、氙等）和鹵族元素（氟、氯、溴等）組成，在基態，呈兩(liang) 種原子氣體(ti) 混合狀，被短脈衝(chong) 電流激發到激光高能級時生成化合物，化合物的每個(ge) 分子由兩(liang) 種氣體(ti) 各貢獻1個(ge) 原子組成，這就是“準分子”這一名稱的來曆。

準分子激光器最常見的有氟化氬（arf）、氟化氪（krf）、氯化氙（xecl）等，這類激光器一般以短脈衝(chong) 方式工作在紫外波段。

第一台準分子激光器於(yu) 1970年誕生，它利用強電子束激勵液態氙，獲得氙準分子的激射作用，激光波長為(wei) 1720埃。隨後，氣相氙分子以及其它稀有氣體(ti) 準分子，稀有氣體(ti) 氧化物準分子（氧化氪、氧化氙、氧化氬等），金屬蒸氣-稀有氣體(ti) 準分子（氙化鈉等）；稀有氣體(ti) 單齒化物準分子（氟化氙、氟化氬、氟化氪、氯化氙、溴化氙、碘化氙、氯化氪等），金屬齒化物準分子（氯化汞、溴化汞等）和金屬準分子（鈉準分子等）陸續誕生。準分子激光物質具有低能態的排斥性，可以把它有效地抽空，故無低態吸收與(yu) 能量虧(kui) 損，粒子數反轉很容易，增益大，轉換效率高，重複率高，輻射波長短，主要在紫外和真空紫外（少數延伸至可見光）區域振蕩，調諧範圍較寬。它在分離同位素，紫外光化學，激光光譜學，快速攝影，高分辨率全息術，激光武器，物質結構研究，光通信，遙感，集成光學，非線性光學，農(nong) 業(ye) ，醫學，生物學以及泵浦可調諧染料激光器等方麵已獲得比較廣泛的應用，而且可望發展成為(wei) 用於(yu) 核聚變的激光器件。

激光介質	ArF	KrF	XeCl
波長（nm）	193	248	308
最大脈衝(chong) 能量@1Hz (mJ)	200/500	300/800	220/500
脈衝(chong) 寬度（ns）	15-30
脈衝(chong) -脈衝(chong) 穩定性（%）	3-5
光斑尺寸（mm）	10×25
最大重複頻率（Hz）	25
尺寸（長×寬×高）（mm）	1260 mm x 350 mm x 700 mm
重量（kg）	200
所需電源	380V/50Hz
功耗（kW）	4.2

#p#分頁標題#e#