在準分子激光器全球的醫療、半導體(ti) 、光纖、平板顯示、材料研究等高端行業(ye) 得到廣泛的應用，但作為(wei) 專(zhuan) 業(ye) 的的重要廠商，我們(men) 同時也發現在準分子激光器的使用上，還存在著一些隱憂，筆者想通過這篇文章，以引起相關(guan) 操作人員的重視。
準分子激光氣體(ti) 的主要成分：
氟化氬（ArF) 193 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氟化氪（KrF) 248 nm ：F2、Ar、He、Ne；
氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne
氟化氙（XeF） 351 nm：F#p#分頁標題#e#2、Xe、He、Ne
顯而易見，準分子激光氣體(ti) 成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體(ti) ，除非大量釋放到密閉空間會(hui) 引起窒息外，對人體(ti) 的危害是有限的，排除惰性稀有氣體(ti) 的危害最主要的做法還是通風，增強室內(nei) 空氣的對流。
除了稀有氣體(ti) 之外，準分子激光氣中的F2是我們(men) 采取防範措施的重中之重。很多情況下，準分子激光氣體(ti) 都是以預混的形式進行供應，這些預混氣的F2濃度都在1%以下，但足以對人體(ti) 健康構成威脅，尤其是一些工業(ye) 和科研應用的準分子激光氣，使用的是5%F2+95%He，這類型的氣體(ti) 對人體(ti) 的危害更為(wei) 嚴(yan) 重。
氟氣，化學式F2，是一種淡黃色、極具腐蝕性的雙原子分子氣體(ti) ，密度（標準狀態下）：
#p#分頁標題#e# 物質狀態：
|
|
氣體(ti) |
形狀： |
透明氣體(ti) |
|||
|
|
|
|
氣味： |
|
|
辛辣、臭味 |
|
顏色： |
透明無色 |
沸點/沸點範圍： |
|
|||
|
PH值： |
N/A |
閃火點： |
無 |
|||
|
分解溫度： |
無 |
測試方法： |
○開杯 ○閉杯 |
|||
|
自燃溫度： |
無 |
爆炸界限： |
爆炸下限(LEL) / 爆炸上限(UEL)：…/… |
|||
|
蒸氣壓： |
756.4 psig |
蒸氣密度： |
1.312 (空氣=1) |
|||
|
密度： |
|
溶解度： |
完全互溶 |
化學分子式： F2
分子量： 37.9968
熔點(101.325kPa)：
沸點(101.325kPa)：
液體(ti) 密度(-#p#分頁標題#e#
氣體(ti) 密度(
相對密度(氣體(ti) ，空氣=1，
比容(
臨(lin) 界溫度：
臨(lin) 界壓力： 5215kPa
臨(lin) 界密度：
熔化熱(-
氣化熱(-
比熱容(氣體(ti) ，
Cv=609.65J/(mol.K)
比熱比(氣體(ti) ，
蒸氣壓(53.56K)： 0.223kPa
(77.17K)： 37.383kPa
(89.40K)：#p#分頁標題#e# 162.638kPa
粘度(氣體(ti) ，
(液體(ti) ，
表麵張力(-
導熱係數(氣體(ti) ，
(液體(ti) ，
折射率(氣體(ti) ，
(液體(ti) ，
毒性級別： 4
易燃性級別： 0
易爆性級別：#p#分頁標題#e# 3
火災危險度： 極大
氟是電負度最強的元素，也是很強的氧化劑。在常溫下，氟幾乎能和所有的元素化合，並產(chan) 生大量的熱能，在所有元素中，氟是最活潑的。在－
毒性
人吸入TCLo：25ppm，5分鍾，對眼有刺激性
最高容許濃度：0.1 ppm (0.2mg/m3)
氟是劇毒性氣體(ti) ，能刺激眼、皮膚、呼吸道粘膜。由於(yu) 它立即與(yu) 水反應生成氟化氫#p#分頁標題#e#HF，所以在大多數情況下顯出與(yu) 氟化氫同樣的毒性。輕微吸入會(hui) 影響肺、鼻、喉嚨等呼吸道黏膜，導致咳嗽及呼吸困難，過度吸入有可能產(chan) 生組織破壞或肺水腫。
當氟濃度為(wei) 5～10ppm時，對眼、鼻、咽喉等粘膜開始有刺激作用，作用時間長時也可引起肺水腫。與(yu) 皮膚接觸可引起毛發的燃燒，接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化症和韌帶鈣化。氟物質會(hui) 與(yu) 水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸，如果超過20%氟化氫或氫氟酸汙染致人體(ti) 可能導致血鈣過少。吸入氟的患者應立即轉移至無汙染的安全地方安置休息，並保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水衝(chong) 洗之後就醫診治。氟物質亦會(hui) 與(yu) 水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸。水中生物部分，如混合氣體(ti) 大量的在河邊或水中外泄，會(hui) 導致魚類或水中生物死亡。
安全防護
工作場所要通風保持空氣新鮮幹燥。要用特種鋼瓶貯裝。鋼瓶存放時必須與(yu) 其它物料隔離，特別是與(yu) 能和氟反應的物料隔絕，要遠離易起火地點。
著火時消防人員須在防爆掩蔽處操作，切不可將水直接噴射漏氣處，否則會(hui) 助長火勢。滅火可用二氧化碳、幹粉、砂土、廢氣可用水吸收。
個(ge) 人防護設備：
|
|
呼吸防護：當氟物質超過暴露標準，或是緊急處理程序時，必須使用呼吸防護具。 眼部：頭盔附護目鏡 (不可戴隱形眼鏡) 手套：橡膠手套 其它：全套防化學汙染之衣物 |
|
衛生措施： |
使用時禁止吸煙或進食，並需注意環境整潔及個(ge) 人衛生。 |
安全與(yu) 運輸
氟氣是一種毒性極高的強腐蝕性氣體(ti) ，在濕空氣中易形成氟化氫或二氟化氫。氟的腐蝕性突出表 現為(wei) 強烈的酸性刺激性，其性質同氟化氫相似。與(yu) 水、水蒸氣反應，產(chan) 生有毒腐蝕性煙氣，並放出熱。
氟氣對皮膚的灼傷(shang) 速度比氫氟酸快許多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它對眼睛的刺激程度也大大超過 氫氟酸。呼吸到低含量的氟氣不會(hui) 產(chan) 生明顯的生理病變，但經過呼吸係統進入人體(ti) 的骨組織內(nei) ，引起化 學反應導致骨質鬆軟。氟氣屬有毒壓縮氣體(ti) ，宜儲(chu) 存於(yu) 陰涼、通風倉(cang) 內(nei) ，，並應遠離火種、熱源。氟氣應與(yu) 易燃或可燃物、金屬粉末等分開存放。#p#分頁標題#e#
工程控製：
|
|
工作場地需為(wei) 通風良好場所，建議鋼瓶放置在安全的通風處如毒氣櫃，操作時應有監控係統以降低員工暴露危險 |
||||
|
控製參數 |
|||||
|
八小時日時量平均容許濃度 TWA |
短時間時量平均容許濃度 STEL |
最高容許濃度 Ceiling |
生物標準 BEI(ACGIH) |
||
|
0.1 ppm |
2.0 ppm |
10 ppm |
|
||
|
|
|||||
|
|
|||||
|
生物指標 |
|||||
|
|
|||||
|
|
|||||
|
LD50(測試動物吸收途徑) |
LC50(測試動物吸收途徑) |
||||
|
測試動物( - )吸收途徑 |
測試動物(185ppm)吸收途徑 |
||||
生態資料
可能之環境影響/環境流布：氪氣、氖氣為(wei) 大氣中自然產(chan) 生之氣體(ti) 成分之一，不會(hui) 造成環境影響。在自然水中，包含了鈣及其它含堿之化學物質，與(yu) 氟物質接觸後會(hui) 產(chan) 生氟化鈣及其它的氟化鹽物質等中和現象。此外，氟物質亦會(hui) 與(yu) 水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸，所有作業(ye) 操作必須以降低環境中汙染物為(wei) 目標。
#p#分頁標題#e#
|
|
|
植物或動物影響：因為(wei) 混合氣體(ti) 中的毒性物質，動物暴露在混合氣體(ti) 下會(hui) 造持細胞組織破壞、燃燒並有可能導致死亡。植物如受到此混合氣體(ti) 汙染，可能遭致有害影響或破壞 |
|
水中生物：混合氣體(ti) 中的氟物質，會(hui) 對水中生物產(chan) 生不利的影響，如果混合氣體(ti) 大量的在河邊或水中外泄，會(hui) 導致魚類或水中生物死亡。 |
|
臭氧消耗影響：此混合氣體(ti) 的成分不為(wei) 第一級或第二級臭氧消耗的化學成分 |
廢棄處置方法
廢棄處置方法：以慢速通過蘇打 (碳酸鈉) 吸收過濾之
|
|
轉載請注明出處。
相關文章
熱門資訊
精彩導讀
關注我們
