化學激光器是另外一類特別的氣體(ti) 激光器，其泵浦源為(wei) 化學反響所開釋的能量。這種激光器大部門以份子躍遷方法事情，典範波長範疇為(wei) 近紅外到中紅外譜區。最重要的有氟化氫（HF）和氟化氘（DF）兩(liang) 種裝配。前者可以在2.6～3.3微米之間輸入15條以上的譜線；後者則約有25條譜線處於(yu) 3.5～4.2微米之間。這兩(liang) 種器件今朝都可完成數兆瓦的輸入。其餘(yu) 化學份子激光器包含波長為(wei) 4.0～4.7微米的溴化氫（HBr）激光器，波長4.9～5.8微米的一氧化碳（CO）激光器等。迄今獨一已知的操縱電子躍遷的化學激光器是氧碘激光器，它具備高達40％的能量轉換服從(cong) ，而其1.3微米的輸入波長則很容易在大氣中或光纖中傳(chuan) 輸。

化學激光器有脈衝(chong) 和連續兩(liang) 種事情方法。脈衝(chong) 裝配起首於(yu) 1965年發明，連續器件則於(yu) 4年後問世。此中氟化氫和氟化氘激光器因為(wei) 可以得到很是高的連續功率輸入，其潛伏軍(jun) 事利用很快引發人們(men) 的樂(le) 趣。在“星球大戰”籌劃的鞭策下，美國於(yu) 80年月中期以3.8微米波長、2.2兆瓦功率的氟化氘激光器為(wei) 底子，研製出“中紅外先輩化學激光裝配”，在計謀防備發起局1988年提交國會(hui) 的陳述中，稱其為(wei) 那時“自由世界能量最大的高能激光體(ti) 係”。而氧碘激光器則在質料加工中獲得利用，並可望用於(yu) 受控熱核聚變反響。化學激光器近來的成長標的目的包含以數十兆瓦為(wei) 方針進一步增長連續器件的輸入功率；高興(xing) 進步氟化氫激光的光束品質和亮度；並摸索由氟化氫激光器得到1.3微米左右短波長輸入的大概性。