普通的封離式CO2激光器包括腔片架、放電管、電極和電源等幾部分。圖(1)是一種典型的結構示意圖。構成CO2激光器諧振腔的兩(liang) 個(ge) 反射鏡放置在可供調節的腔片架上,最簡單的方法是將反射鏡直接貼在放電管的兩(liang) 端。全反射鏡為(wei) 凹麵鏡,輸出反射鏡一般為(wei) 平麵鏡,采用能透過10.6mm激光的紅外材料製成。通常用的紅外材料有兩(liang) 類:一類是堿金屬的鹵化物鹽,例如,KCl、NaCl、KBr等晶體(ti) ;另一類是半導體(ti) 材料,如鍺、矽、砷化镓等。

圖(1) 封離式CO2激光器結構示意圖
1.平麵反射鏡 2. 陰極 3.水冷管 4.儲(chu) 氣管#p#分頁標題#e# 5.陽極
CO2激光器的放電管多采用硬質玻璃製成,小型CO2激光器的放電管孔徑一般是4~8mm,輸出功率大的孔徑通常在10mm以上。水冷套管放在儲(chu) 氣管內(nei) 部,使得支撐諧振腔外管的內(nei) 徑很大,既可儲(chu) 存大量氣體(ti) ,又具有很好的機械穩定性。CO2激光器中設置的回氣管可以將放電管的陰極和陽極空間連通,保證氣體(ti) 分布均勻,壓強平衡。
CO2激光器中與(yu) 產(chan) 生激光有關(guan) 的CO2分子能級圖如圖(2)所示。由圖可見,相應於(yu) 10.6mm波長的能級躍遷是(0001)® (1000),相應於(yu) 9.6mm 波長的能級躍遷是#p#分頁標題#e#(0001) ®(0200)。CO2激光器的工作氣體(ti) 除CO2氣體(ti) 外,還有適量的輔助氣體(ti) N2和He等。充入He氣的作用有二:一可加速CO2分子在((0001)能級的熱馳豫速率,有利於(yu) 激光下能級上的粒子數抽空;二可利用He氣導熱係數大的特點,實現有效地傳(chuan) 熱。充入N2氣的作用是提高CO2分子的泵浦速率,為(wei) CO2激光器高效運轉提供可靠的保證。

圖(2) 與(yu) 產(chan) 生激光有關(guan) 的CO2分子能級圖
當CO2激光器進行氣體(ti) 放電時,一部分高速電子直接碰撞CO2分子,使其由基態躍遷到激發態#p#分頁標題#e#(000l)上,另一部分高速電子與(yu) N2分子碰撞,使其由基態(V=0)激發到高能態(V=1)上(N2分子的相應能級已表示在圖(2)中)。由於(yu) N2分子的激發態(V=1)與(yu) CO2分子的(0001)能級非常接近,很容易通過共振能量轉移過程將基態CO2分子激勵到(0001)能級上。於(yu) 是,通過上述兩(liang) 種過程,有效地實現了CO2分子在(0001)能級上的粒子數積累,一旦實現(0001)與(yu) (1000)、(0200)之間的粒子數反轉,即可通過受激輻射,產(chan) 生#p#分頁標題#e#10.6mm和9.6mm兩(liang) 種波長的激光。
由CO2分子能級躍遷圖可見,10.6mm和9.6mm兩(liang) 條譜線有共同的激光上能級(0001),因此在它們(men) 之間將產(chan) 生強烈的譜線競爭(zheng) 。由於(yu) 相應於(yu) 10.6mm波長的躍遷幾率比9.6mm大,所以通常CO2激光器的輸出激光波長為(wei) #p#分頁標題#e#10.6mm。