紫外全固態激光源是指輸出波長在200納米以下的固體(ti) 激光器,與(yu) 同步輻射和氣體(ti) 放電光源等現有光源相比,具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相幹性。長期以來,深紫外波段(波長小於(yu) 200納米)一直缺乏實用化、精密化激光源,製約了深紫外波段科學儀(yi) 器和前沿研究的發展。
激光技術的發展讓人類的視野不斷拓寬。但多年來,波長小於(yu) 200納米的深紫外波段,一直是個(ge) 神秘又難以逾越的坎。由於(yu) 深紫外激光源的缺席,許多重要的科學研究無法開展。
上世紀90年代初,中國科學院開始組織力量研究深紫外非線性光學晶體(ti) 和激光技術。經過20多年努力,我國科學家在國際上首次實現KBBF晶體(ti) 倍頻輸出深紫外激光,並發明棱鏡耦合技術,最終發展出實用化的深紫外固態激光源,使中國成為(wei) 當今世界上唯一掌握深紫外全固態激光技術的國家。基於(yu) 此項技術,我國科學家已成功研製出深紫外激光拉曼光譜儀(yi) 、深紫外激光發射電子顯微鏡等8台深紫外固態激光源前沿裝備,均為(wei) 當今世界所獨有的科研利器,居深紫外領域國際領先地位。

圖為(wei) 首台深紫外固態激光源
深紫外激光源對於(yu) 現代科技發展非常重要,例如,193納米光刻技術所需光源,納米微加工技術,原子、離子的激光冷卻技術,以及各種現代化儀(yi) 器所需的深紫外激光源等。
深紫外固態激光技術的突破為(wei) 中國新型科學儀(yi) 器的研發提供了難得機遇。“十二五”規劃中旨在提高我國科學儀(yi) 器設備自主創新能力和自我裝備水平、支撐科技創新、服務經濟和社會(hui) 發展的國家重大科學儀(yi) 器設備開發專(zhuan) 項已經啟動。這一專(zhuan) 項的實施,有望改變我國科研儀(yi) 器設備大多依靠進口的尷尬局麵。
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