深紫外全固態激光器，是指激光波長在200nm以下的固體(ti) 激光器，與(yu) 同步輻射和氣體(ti) 放電光源相比，其具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相幹性。深紫外激光器光源對於(yu) 現代科技發展非常重要，例如193nm光刻技術、納米微加工技術、原子和離子的激光冷卻技術、以及各種現代化儀(yi) 器。長期以來，深紫外激光器(<200nm)一直缺乏實用化和精密化，因此製約了深紫外波段科學儀(yi) 器和前沿科研的發展。

       20世紀90年代初，中國科學院開始組織力量研究深紫外非線性光學晶體(ti) 和激光技術。經過20多年努力，我國科學家在國際上首次實現KBBF晶體(ti) 倍頻輸出深紫外激光，並發明棱鏡耦合技術，最終開發出實用化的深紫外固態激光器，使中國成為(wei) 當今世界上唯一掌握深紫外全固態激光技術的國家。基於(yu) 此項技術，我國科學家已成功研製出深紫外激光拉曼光譜儀(yi) 、深紫外激光發射電子顯微鏡等深紫外激光器係統的前沿裝備，均為(wei) 當今世界所獨有的科研利器，居深紫外領域國際領先地位。

       深紫外固態激光技術的突破為(wei) 中國新型科學儀(yi) 器的研發提供了難得機遇。“十二五”規劃中，旨在提高我國科學儀(yi) 器設備自主創新能力，支撐科技創新、服務經濟和社會(hui) 發展的國家重大科學儀(yi) 器設備開發專(zhuan) 項已經啟動。這一專(zhuan) 項的實施，有望改變我國在高端科研儀(yi) 器設備大多依靠進口的尷尬局麵。