相幹公司推出新型紫外光纖激光器Daytona™ 355-20,其不但能提供短脈衝(chong) 皮秒激光器的精密加工能力,而且還具有二極管泵浦的Q開關(guan) 固體(ti) 激光器的高吞吐量。Daytona 355-20發射的亞(ya) 納秒脈衝(chong) 可提供超過20W的功率,重複頻率超過1MHz(波長355 nm)。
此外,Daytona能實現TEM00(M2 <1.3)輸出光束,這使其成為(wei) 精密微加工的理想選擇。而且,Daytona是一個(ge) 高度靈活的平台,其可在寬泛的工作範圍調整,以滿足特定應用的實際需要。例如,脈衝(chong) 寬度可以在不足1ns到20ns之間調整,重複頻率可以從(cong) 單脈衝(chong) 發射調整到超過2MHz。
對周邊無熱損傷(shang) (熱影響區HAZ)的微加工的關(guan) 鍵是:用很短的波長驅動冷燒蝕,並用短脈寬限製燒蝕過程中的熱傳(chuan) 導。傳(chuan) 統的Q開關(guan) UV激光器提供幾十納秒的脈衝(chong) 寬度,這會(hui) 產(chan) 生很多應用無法接受的熱影響區。在Daytona推出之前,人們(men) 唯一的選擇是使用脈寬達幾十皮秒的激光器,但這些光源並不能在紫外波段提供足夠高的輸出功率以滿足高吞吐量的工業(ye) 需求。因此,Daytona是為(wei) 這些應用而推出的首個(ge) 精密、高功率激光源。
Daytona適用的應用包括晶圓切割、劃線、鑽孔(特別是低k材料)、觸摸屏和液晶顯示器的玻璃劃線、觸摸屏刻圖,以及太陽能製造領域的薄膜劃線。
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