二氧化碳激光於(yu) 1964年首次運用其波長為(wei) 10.6μm。因為(wei) 這是一種非常有效率的激光,作為(wei) 商業(ye) 模型來說其轉換效率達到10%,所以二氧化碳激光廣泛用於(yu) 激光切割,焊接,鑽孔和表麵處理。作為(wei) 商業(ye) 應用激光可達45千瓦,這是目前最強的物質處理激光。
1、運作原理
二氧化碳激光是一種分子激光。主要的物質是二氧化碳分子。它可以表現多種能量狀態這要視其震動和旋轉的形態而定。基本的能量網狀見圖7。二氧化碳裏的混合氣體(ti) 是由於(yu) 電子釋放而造成的低壓氣體(ti) (通常30-50托)形成的等離子(電漿)。如麥克斯韋-波爾茲(zi) 曼分布定律所說,在等離子裏,分子呈現多種興(xing) 奮狀態。一些會(hui) 呈現高能態(00o1)其表現為(wei) 不對稱擺動狀態。當與(yu) 空心牆碰撞或者自然散 發,這種分子也會(hui) 偶然的丟(diu) 失能量。通過自然散發這種高能狀態會(hui) 下降到對稱擺 動形態(10 o0) 以及放射出可能傳(chuan) 播到任何方向的光子(一種波長10.6μm的光 束)。偶然的,這種光子的一種會(hui) 沿著光軸的腔向下傳(chuan) 播也將在共鳴鏡裏擺動。

圖 1 簡單的二氧化碳分子能量水平圖
大體(ti) 上,二氧化碳激光的工作物質是由二氧化碳、氦、氮氣所組成的混合物。氮氣作為(wei) 緩衝(chong) 氣體(ti) 以及它的分子共鳴地傳(chuan) 遞刺激能量給二氧化碳分子。因為(wei) 張弛水平 (01110)是瓶頸,氦的作用是作為(wei) 熱壑來傳(chuan) 遞能量給水平(01110)給氦原子。
2、二氧化碳激光的種類
廢熱被拒的方式對激光係統設計有很大的影響。原則上,有兩(liang) 種可能的方式。第 一種方式是基於(yu) 自動處理自然擴散熱氣到管牆,運作原理就是密封和慢軸流激光。第二種是基於(yu) 氣體(ti) 強迫對流,其運作原理就是快軸流激光。 大體(ti) 上,主要有五種二氧化碳激光:
•密封式或無流式
•慢軸流
•快軸流
•快速橫向流
•橫向激勵大氣(TEA)
密封或無流式二氧化碳激光通常以用於(yu) 光束偏轉激光做記號。它的放電管完全被封住。這種激光束的質量非常好。而且在大多數情況下整個(ge) 放電管可以換新舊的可以重新灌氣所以容易保養(yang) 。這樣就無需使用分離式的氣體(ti) 供應係統。隻需要在激光頭做較少的連接。所以它既緊密且輕巧。但是其能量輸出較低(通常少於(yu) 200瓦)。
TEA二氧化碳激光通常應用於(yu) 防護罩製作。隻能在脈衝(chong) 形勢下操作。氣流低且氣壓高。其激勵電壓大概在一萬(wan) 伏。這種激光束能量分布在相對的大區域是統一的。它的最高能量最高可以達到1012瓦而且其脈衝(chong) 寬度非常小。盡管如此,由於(yu) 多狀態運轉所以這種形式的激光很難在小點上集中。
3、泵的電源供應
對於(yu) CW二氧化碳激光而言,總體(ti) 上說主要有三種給泵供電的方式。例如:直流電(DC)、高頻(HF)、射頻(RF)。直流電供電設計最簡單。在高頻率供電式中電子在頻率20-50千赫茲(zi) 之間交替。相對直流電而言,高頻供電在大小上緊密而且較高效率。射頻供電中電子在頻率2至100兆赫茲(zi) 之間交替。與(yu) 直流電相比,其電壓和效率都較低。
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