近日，SPIE 7842卷會(hui) 議論文集公布的2010年國際膜層激光損傷(shang) 水平的競賽結果中，由中國科學院上海光學精密機械研究所高功率激光物理聯合實驗室化學塗膜組選送的 溶膠凝膠減反射薄膜樣品的激光損傷(shang) 閾值指標獲得最佳結果。該競賽由美國SPIE激光損傷(shang) 年會(hui) （Laser Damage Symposium）組織。

      近二十年來，國際激光膜層領域高度重視高激光損傷(shang) 閾值膜層的研究，2008年至今組織了三次激光膜層抗損傷(shang) 水平的競賽。本次評比的主題是三倍頻減反薄膜的 損傷(shang) 閾值（激光測量參數為(wei) 355nm波長和7.5ns脈寬），共有來自不同國家的29家單位寄送樣品，實際參加測試有11家國際著名鍍膜（塗膜）公司和研 究單位，包括了如美國勞倫(lun) 斯.利佛摩爾國家實驗室、德國漢諾威激光中心等國際著名研究機構。測試采用雙盲辦法，結果如下圖所示。圖中左邊部分為(wei) 不同方法製 備的膜層閾值情況，右邊為(wei) 空白基片的閾值情況。

      高功率激光物理聯合實驗室化學塗膜組參加測試樣品為(wei) 溶膠-凝膠多孔性SiO2減反膜。測試結果顯示該樣品在激光能量 ≤47J/cm2(351nm，7.5ns)時，膜層沒有任何損傷(shang) ；47-52J/cm2範圍，有小於(yu) 100μm的損傷(shang) 點，但不增長，損傷(shang) 點在膜層1%範 圍內(nei) ，膜層可繼續使用；≥52J/cm2時，有大於(yu) 100μm的損傷(shang) 點，超過膜層1%範圍，損傷(shang) 點隨輻照強度增高而增大，屬於(yu) 嚴(yan) 重損傷(shang) ，膜層不能繼續使 用；對比如圖所示裸基底的激光損傷(shang) 閾值，從(cong) 23 J/cm2 (351nm，7.5ns)提升到塗膜後47 J/cm2 (351nm，7.5ns)。在三家提供溶膠凝膠膜層樣品中優(you) 勢明顯。

      聯合實驗室化學塗膜組自1994年至今，在國家高技術863計劃和相關(guan) 重大專(zhuan) 項的支持下，在國內(nei) 率先開展了化學法製備高激光損傷(shang) 閾值膜層的研製及小批量生 產(chan) ，有力支撐了相關(guan) 裝置的建設。雖然激光損傷(shang) 年會(hui) 的競賽項目強調了由於(yu) 所用材料與(yu) 製備方法的不同，競賽結果僅(jin) 從(cong) 學術研究出發，不讚成作為(wei) 評價(jia) 的標準，但也 在一定程度上反映了聯合實驗室在溶膠凝膠減反射膜層在國際上的先進地位。