激光刻蝕技術比傳(chuan) 統的化學蝕刻技術工藝簡單、可大幅度降低生產(chan) 成本,可加工0.125~1微米寬的線,非常適合於(yu) 超大規模集成電路的製造。激光微調技術可對指定電阻進行自動精密微調,精度可達0.01%~0.002%,比傳(chuan) 統加工方法的精度和效率高、成本低。激光微調包括薄膜電阻(0.01~0.6微米厚)與(yu) 厚膜電阻(20~50微米厚)的微調、電容的微調和混合集成電路的微調。
激光存儲(chu) 技術是利用激光來記錄視頻、音頻、文字資料及計算機信息的一種技術,是信息化時代的支撐技術之一。
激光劃線技術是生產(chan) 集成電路的關(guan) 鍵技術,其劃線細、精度高(線寬為(wei) 15~25微米,槽深為(wei) 5~200微米),加工速度快(可達200毫米/秒),成品率可達99.
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