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飛行光學加工係統式采用移動光束進行大範圍的激光加工,與(yu) 光束固定的導光係統相比,飛行光學加工係統更具有靈活性,被廣泛應用在二維和三維激光加工中。在光束固定或小範圍掃描時,焦斑的大小和位置的變化或不影響加工質量,或采用前麵介紹的平場透鏡加以補償(chang) 。但在加工超大超重的大工件時,光學聚焦係統會(hui) 沿激光軸進行長距離移動(可達數米乃至十餘(yu) 米),或進行激光打靶的遠距離聚焦時,激光束引起的大氣湍流、受基喇曼散射、聚焦鏡移動等,使激光束的光斑位置、十幾的焦距、焦斑、焦深發生很大變化,即使聚焦鏡的位置不變,由於(yu) 諧振腔的熱效應等因素,也會(hui) 使焦距等參數發生變化。由於(yu) 大功率激光多為(wei) 多模狀態工作,在加工範圍很大時,必須考慮多模激光束在不同加工位置處聚焦焦點位置的偏移和大小的變化,需要對激光束進行光學變換。 目前光束在不同加工位置處焦點位置變化是補償(chang) 的方法有三種:意識用變焦法調整焦點位置;二是采用變形鏡;三是采用等光程法。 用變焦法調整焦點位置是采用導致伽利略望遠係統進行光學變換,講激光束腰位置變換到加工位置的中心。通過調節導致望遠係統的物鏡和目鏡的距離,來調節光束變換後的束腰位置,調節量越大,光束束腰位置離望遠係統的距離越遠。望遠係統對光束束腰位置的變換距離同光束衍射倍率因子M2值的平方成反比,所以光束質量越差的光束,其M2值越大,越不易被變換。大範圍的激光加工,要求激光束的光束質量好,不是任意激光束都適合采用飛行光學加工係統進行大範圍激光加工的。光束質量越好,有效加工範圍越大。 還可采用自適應變形反射鏡組合技術和拋物麵形聚焦鏡為(wei) 主體(ti) 的“飛行光學”自適應激光聚焦特性係統進行光學變換。 |
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