相幹公司130W LEAP準分子激光器

相幹公司2kHz的IndyStar 準分子激光器

采用紫外準分子激光器進行聚合物的加工可以產(chan) 生非常幹淨的燒蝕效果，而且幾乎不會(hui) 產(chan) 生熱效應區。同時隨著準分子激光器輸出功率的增長，其加工效率也不斷提高。

目前，紫外微加工技術在塑料襯底上最卓有成效的一項應用就是用於(yu) 噴墨打印機高質量噴嘴的製造，它要求在塑料基板上鑽出孔徑為(wei) 10-50um的微孔。這種超高精密度的加工工藝是采用248nm或者308nm的準分子激光器通過掩模板成像技術來實現的，它要求激光輸出功率密度達到600-800mJ/cm2。掩模板成像技術一次可以加工出300個(ge) 微孔。通常加工一個(ge) 完整的噴嘴微孔陣列需要200個(ge) 激光脈衝(chong) 。相幹公司130W的LEAP係列準分子激光器工作頻率可達200Hz，非常適合於(yu) 這種鑽孔應用。

對於(yu) 個(ge) 別的需要更加靈活的鑽孔方式的需求而言，一個(ge) 可行的辦法就是采用掃描頭來改變輸出光束在塑料基板上的位置。除非你需要在塑料基板上鑽斜孔，否則，采用這種方式就必須要配置一個(ge) 垂直場鏡，這樣才能保證入射光始終都是垂直照射在塑料基板上。由於(yu) 現在掃描振鏡的速度非常快，因此相應地需要高重頻的準分子激光器，相幹公司的IndyStar係列激光器就是這樣一款產(chan) 品，它具有2kHz的重複頻率。

圖1：50um厚度的塑料板加工出的孔徑60um的通孔，波長308nm，能量密度800mJ/cm2, 200脈衝(chong)