在當今社會(hui) 中，製造商總是在尋找那些更低能耗和更高效率的設備。來自IMS研究所的Barry Young對此做了統計，預計2010年全球發光二極管（LED）的需求將增長61%，手機市場是很大的觸發因素。大麵積的背光LED電視市場正在迅速擴大，LED也被廣泛應用於(yu) 投影儀(yi) 、手電筒、汽車尾燈和頭燈、普通照明等市場。固態白光源可以通過混合紅光、綠光、藍光LED來實現，或者通過使用磷光材料將單色藍光或紫外LED轉換成寬光譜的白光。

 　　隨著LED產(chan) 量的增加，LED製造商正在尋找可以優(you) 化劃片寬度、劃片速度與(yu) 加工產(chan) 量的新工藝進展。新型LED激光剝離（LLO）和激光晶圓劃片設備給LED製造商提供了高性價(jia) 比的工業(ye) 工具，可以滿足日益增長的市場需求。

高亮度垂直結構LED

　　通常情況下，藍光/綠光LED是由幾微米厚的氮化镓（GaN）薄膜在藍寶石襯底上外延生長形成的。 一些LED的製造成本主要取決(jue) 於(yu) 藍寶石襯底本身的成本和劃片—裂片加工成本。對於(yu) 傳(chuan) 統的LED倒裝橫向結構，藍寶石是不會(hui) 被剝離的，因此，陰極和陽極都在同一側(ce) 的氮化镓外延層（epi）（圖1）。 

圖1. 傳(chuan) 統的橫向結構的藍光LED。 MQW =多量子阱。

　　這種橫向結構對於(yu) 高亮度LED有幾個(ge) 缺點：材料內(nei) 電流密度大、電流擁擠、可靠性較差、壽命較短；此外，通過藍寶石的光損很大。

　　設計人員通過激光剝離（LLO）工藝可以實現垂直結構的LED，它克服了傳(chuan) 統的橫向結構的各種缺陷。垂直結構LED可以提供更大的電流，消除電流擁擠問題以及器件內(nei) 的瓶頸問題，顯著提高LED的最大輸出光功率與(yu) 最大效率（圖2）。

圖2.垂直結構的藍光LED