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LED晶圓激光刻劃技術簡析(下)

星之球激光 來源:激光網2012-03-19 我要評論(0 )   

DPSS全固態激光器的關(guan) 鍵市場要求 - 高可靠性 - 長連續運行時間 - 一鍵開啟參數優(you) 化的激光LED刻劃工藝 --266nm 全固激光器用於(yu) LED晶圓正麵刻劃 --355nm用於(yu) 背麵刻劃 - 全...

  DPSS全固態激光器的關(guan) 鍵市場要求

  - 高可靠性

  - 長連續運行時間

  - 一鍵開啟參數優(you) 化的激光LED刻劃工藝

  --266nm 全固激光器用於(yu) LED晶圓正麵刻劃

  --355nm用於(yu) 背麵刻劃

  - 全球化服務、技術支持網絡

  - 短脈衝(chong) 寬度高峰值功率以達到深度刻劃,熱損傷(shang) 最小化

  - 優(you) 質的光束質量以達到刻劃寬度最小

  - 激光器供應商具備雄厚的應用開發實力和經驗

   三、Spectra-Physics(光譜物理)激光器概述

  長期以來,光譜-物理一直被是激光技術領域服務全球客戶領導者。50年的發展曆程光譜-物理設計、研發、製造了一係列世界首台商用激光器用於(yu) 工業(ye) 市場,其中包括LED激光刻劃用的激光器。

  總體(ti) 來講,激光用於(yu) LED的刻劃優(you) 勢是明確的,不過也麵臨(lin) 著許多技術挑戰,比如不同材料、厚度、不同案例的刻劃速度等帶來的差異。為(wei) 此光譜-物理提供多個(ge) 係列用於(yu) 激光刻劃、分粒的激光器產(chan) 品,是這方麵工業(ye) 加工的領導者,不斷推出創新的高精度激光器,例如Tristar TM, Navigator TM, HIPPOTM等係列高功率納秒激光器產(chan) 品,以及Vanguard TM係列皮秒激光器。如果需要用到飛秒激光器,光譜-物理的Solstice?激光器可以提供100fs全自動的飛秒脈衝(chong) 激光,產(chan) 品專(zhuan) 為(wei) 工業(ye) 應用設計,堅固可靠。

  當短脈衝(chong) 高峰值功率的光譜-物理激光器作用於(yu) LED襯底刻劃,作用效果是:刻劃線條幹淨,材料位置移動小,對襯底的熱效應損傷(shang) 非常小。光譜-物理為(wei) 您提供更深層次的應用知識、經驗幫助您的工藝實現最佳效果。

  我們(men) 的技術、經驗以及創新精神使我們(men) 激光器卓爾不群。光譜-物理全固態激光器采用的ProLite? 二極管泵浦源具有工業(ye) 界領導地位,其壽命是競爭(zheng) 對手產(chan) 品的兩(liang) 倍。此外光譜-物理的EternAlign TM 光學器件裝乘技術保證了激光器整個(ge) 壽命期間內(nei) 外良好的光學對準性。

  光譜-物理獨特的腔外倍頻技術是全固體(ti) Q激光裏麵的最高品質。另外激光器關(guan) 鍵器件諸如泵浦二極管、光纖、shutter、輸出窗口等是可以簡單的現場維修更換的,這就使得光譜-物理全固態激光器連續運行時間以及平均維修時間(MTTR)成倍的延長,把您的使用、維護成本將為(wei) 最低。為(wei) 您供應的每一台光譜-物理激光器背後都有Newport全球激光器服務於(yu) 技術支持團隊的堅實信心和保證。

  Spectra-Physics光譜-物理激光器的優(you) 勢

  - 長連續工作時間--源自於(yu) 產(chan) 品的高可靠性、優(you) 良的設計與(yu) 技術支持

  - 泵浦二極管壽命--二倍於(yu) 工業(ye) 激光器泵浦二極管的平均壽命

  - 技術支持--全球的技術支持售後服務網絡麵向於(yu) 大麵積裝機量提供優(you) 質服務

  - 市場驗證--成千上萬(wan) 的已裝機光譜-物理激光器證明了24/7的工業(ye) 使用狀態下激光器優(you) 良的工作性能。

  - 短脈衝(chong) 寬度--意味著更高的峰值功率和最小化的熱影響區域

  - 近乎完美的光束質量--刻劃寬度更窄

  - 更優(you) 質的脈衝(chong) -脈衝(chong) 能量穩定度--以實現精度更高的刻劃深度控製
 

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