並不是所有的激光均適合LED刻劃,原因在於(yu) 晶圓材料對於(yu) 可見光波長激光的透射性。GaN對於(yu) 波長小於(yu) 365nm的光是透射的,而藍寶石晶圓對於(yu) 波長大於(yu) 177nm的激光是半透射的,因此波長為(wei) 355nm和266nm的三、四倍頻的調Q全固態激光器(DPSSL)是LED晶圓激光刻劃的最佳選擇。盡管準分子激光器也可以實現LED刻劃所需的波長,但是倍頻的全固態調Q激光器體(ti) 積更小,比準分子激光器所需的維護更少,而且在質量方麵,全固激光器刻劃線條非常窄,更適合於(yu) 激光LED刻劃。
激光刻劃使得晶圓微裂紋以及微裂紋擴張大大減少, LED單體(ti) 之間距離更近,這樣既提高了出產(chan) 效率也提高了產(chan) 能。一般來講,2英寸的晶圓可以分離出20000個(ge) 以上的LED單體(ti) 器件,因而切割的切縫寬度就會(hui) 顯著影響分粒數量;減少微裂紋對於(yu) 分粒後的LED器件的長期可靠性也會(hui) 有明顯的提高。激光刻劃與(yu) 傳(chuan) 統的刀片切割相比,不但提高了產(chan) 出效率,同時提高了加工速度,避免了刀片磨損帶來的加工缺陷與(yu) 成本損耗,總之,激光加工精度高,加工容差大,成本低。
總結:
隨著照明市場的持續增長,LED製造業(ye) 對於(yu) 產(chan) 能和成品率的要求變得越來越高。激光刻劃技術將成為(wei) LED製造業(ye) 普遍使用的技術,甚者成為(wei) 了高亮度LED晶圓加工的工業(ye) 標準。
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