在中國科學院和廣東(dong) 省共同支持下，由中科院半導體(ti) 研究所負責研製開發的48片MOCVD首台樣機取得重大進展。樣機不僅(jin) 經過了真空、壓力、溫度、旋轉、自動傳(chuan) 輸等一係列設備性能指標實驗考核，同時進行了氮化镓以及氮化物LED的外延工藝考核，所外延的氮化物材料，分別由山東(dong) 華光、杭州士蘭(lan) 明芯，武漢迪源、上海藍寶、揚州中科等國內(nei) 主流芯片公司進行了性能測試和氮化物LED芯片製作。經多家第三方檢測的結果表明，用此48片MOCVD樣機外延的氮化镓材料，其各項性能指標達到同類國際MOCVD設備產(chan) 品的水平。

      2012年3月10日，在廣東(dong) 省與(yu) 中國科學院在北京舉(ju) 行的全麵戰略合作座談會(hui) 上，首台48片MOCVD樣機研製成果向廣東(dong) 省委書(shu) 記汪洋做了專(zhuan) 項匯報，省長朱小丹，中科院院長白春禮等領導做了專(zhuan) 門匯報，我所李晉閩研究員參加了匯報會(hui) 。會(hui) 上白春禮院長提到，近年來，中科院與(yu) 廣東(dong) 省積極推進產(chan) 學研合作，“MOCVD國產(chan) 化”等重大科技項目合作取得重大突破，在基礎研究和原始創新等方麵實現了重大進展，打下了紮實的合作基礎。中科院將加快推進院省全麵戰略合作，進一步支持廣東(dong) 區域創新體(ti) 係建設，助推廣東(dong) 產(chan) 業(ye) 轉型升級。會(hui) 議期間，還舉(ju) 行了MOCVD裝備成果與(yu) 用戶進行的應用合作簽約，汪洋書(shu) 記、白春禮院長等領導共同出席了簽約儀(yi) 式，我所曾一平研究員等參加了簽約儀(yi) 式。(中國科學院半導體(ti) 研究所)
 

48片MOCVD樣機