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氮化镓襯底引領LED襯底發展潮流

星之球激光 來源:21ic2012-05-12 我要評論(0 )   

在當今日美壟斷LED芯片核心技術的格局下,中國LED企業(ye) 如何打破格局,完成技術攻堅,促進LED發展顯得尤為(wei) 重要。目前,LED襯底類別包括藍寶石、碳化矽、矽以及被稱為(wei) 第三...

 

在當今日美壟斷LED芯片核心技術的格局下,中國LED企業(ye) 如何打破格局,完成技術攻堅,促進LED發展顯得尤為(wei) 重要。目前,LED襯底類別包括藍寶石、碳化矽、矽以及被稱為(wei) 第三代半導體(ti) 材料的氮化镓。

 

  與(yu) 傳(chuan) 統襯底材料相比,氮化镓具有禁帶寬度大、擊穿電壓高、熱導率大、電子飽和漂移速度高、抗輻射能力強和良好的化學穩定性等優(you) 越特性,是迄今理論上電光、光電轉換效率最高的材料體(ti) 係。時至今日,氮化镓襯底相對於(yu) 藍寶石、碳化矽等襯底的性能優(you) 勢顯而易見,最大難題在於(yu) 價(jia) 格過高。

 

  厚膜的襯底產(chan) 品方麵:產(chan) 品有10~50微米的不同規格,常用的是20~30微米。位錯密度在107cm~3量級,根據不同的技術參數可分為(wei) 兩(liang) 種即n型摻雜與(yu) 半絕緣。n型摻雜主要運用於(yu) LED等光電器件,半絕緣主要運用於(yu) 電力電子、微波器件上。

 

  自支撐氮化镓(GaN)襯底方麵:位錯密度在105cm-3量級,根據不同的技術參數分為(wei) 三種,即n型摻雜、半絕緣與(yu) 非摻雜。n型氮化镓,主要運用於(yu) LED、激光器方麵;半絕緣則運用於(yu) 高功率微波器件或大電流高電壓的開關(guan) 上。非摻雜即高純度氮化镓,在探測器上的應用較為(wei) 廣泛,要求材料的電子濃度越低越好。納維非摻雜氮化镓產(chan) 品,X射線(002)半峰寬為(wei) 50秒、(102)半峰寬為(wei) 80秒左右,塊體(ti) 材料的電子遷移率超過1500cmV-1s-1,處於(yu) 國際前列水平。納維是國際上能夠生產(chan) 銷售氮化镓自支撐晶片的少數幾個(ge) 單位之一。

 

  HVPE法生長GaN自支撐襯底

 

  HVPE主要是金屬镓、氯化氫、氨氣,金屬镓和氯化氫發生反應,生成氯化镓,氯化镓在200℃後變成氣體(ti) ,以這個(ge) 為(wei) 原材料,進而通過在襯底表麵上與(yu) 氨氣反應變成氮化镓。HVPE這種生成方法,在表麵的化學飽和度非常高,因此,其生長速度非常快,比MOCVD的生長速度快50~100倍,它一個(ge) 小時能夠生長200~300個(ge) 微米,可以在短時間內(nei) 把這個(ge) 材料變成高質量的氮化镓,這是它的一個(ge) 特點。

 

  未來5年,氮化镓的價(jia) 格將下降10~20倍,4~6寸進入市場

 

  現在LED盛行的風潮下,氮化镓作為(wei) 半導體(ti) 發光二極管應用於(yu) LED照明也已經在中國發展得風起雲(yun) 湧。氮化镓襯底上的同質外延與(yu) 藍寶石襯底上的異質外延,單從(cong) 技術角度上講,異質外延缺陷密度比同質外延的氮化镓高出2~3個(ge) 數量級;氮化镓具有導電的特點,可以做成垂直結構的芯片,這樣,外延片的利用麵積比藍寶石的提高1.5倍;做成垂直結構之後,氮化镓上電流密度可以很高,期望一個(ge) 氮化镓襯底上的芯片可以抵十個(ge) 藍寶石襯底上的芯片。美國的Sorra和日本的NGK已經開始大力開發這類芯片,並取得重要突破,達到同樣亮度,氮化镓襯底上製作的LED能耗比傳(chuan) 統芯片低一半以上。

 

  隨著氮化镓的規模量產(chan) 和價(jia) 格的下降,以及LED外延技術的不斷發展,當將芯片電流密度提高到5~10倍時,氮化镓在LED上運用的優(you) 勢會(hui) 比藍寶石明顯很多,這是大家看好的未來的一個(ge) 發展方向。預計未來5年,用於(yu) LED的氮化镓襯底價(jia) 格能夠降10~20倍,氮化镓襯底在單位流明價(jia) 格上會(hui) 取得顯著優(you) 勢。我們(men) 對未來非常有信心。

 

  未來氮化镓襯底不完全取代藍寶石襯底

 

  藍寶石襯底根據它獨特的優(you) 勢,以及通過規模生產(chan) 在未來大幅降低成本的可能性,在未來很長一段時間裏將成為(wei) LED襯底市場主流。對此,徐總表示認同,在數量規模上,藍寶石一定是未來一段時期的主流。現在不同襯底技術在細分領域上發展還不是很充分。將來氮化镓大規模發展之後也不會(hui) 完全取代藍寶石。

 

  藍寶石襯底在對亮度等各方麵要求不高時有它的優(you) 勢。未來通用照明及對發光強度要求光效,光的穩定性等要求非常高的情況下,氮化镓的產(chan) 品有它的優(you) 勢。尤其是將LED作為(wei) 新的光源,不是說簡單的紅綠藍景觀燈,而用在投影儀(yi) 上,投射燈、汽車燈、閃光燈等方麵,氮化镓襯底有它的絕對優(you) 勢。

 

  韓國當初預計,LED液晶電視的需求量非常大,每台LEDTV需要900顆LED,算起來這個(ge) 需求非常大,但是隨著技術的發展,現在做LED電視實際隻需要100顆不到,而不是當初的900顆,這樣,需求量差不多縮小了十倍。

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