準分子激光器具有獨特的材料加工特性，這一特性使得其應用範圍日益擴大。

　　與(yu) 其他氣體(ti) 激光器不同，準分子激光器在應用方麵的數目和種類不斷的增多。這是因為(wei) ，準分子激光器所獨有的特性和性能，這使得準分子激光器能滿足很多的材料加工的需要。其獨有的特性也使得它很好的被用於(yu) 新興(xing) 的技術中。目前，主要有兩(liang) 個(ge) 方麵應用：1)材料的切除2)光學材料的加工，尤其是打孔，劃線，微加工，和其他方麵的加工，在這些加工中，其特征尺寸縮小且超出了機械加工的範圍。準分子材料切除的本質是光燒蝕，它幾乎沒有熱影響區域，而且使用準分子時，切口幹淨而且輪廓分明。這些特點使得它十分適合進行亞(ya) 微米範圍的微加工。此外，短波長的紫外(UV)準分子輻射很容易被許多材料所吸收，使得它不論對硬質材料(如,矽和陶瓷)還是對軟質聚合物都能進行有效加工。紫外準分子激光波長的範圍較廣，這意味著，基本上對於(yu) 任何需要加工的材料都能夠找到合適的波長。大型的多模平頂準分子光束讓大麵積圖案製作所需的光束整形和掩膜技術成為(wei) 可能，使得加工效率更高，且能得到複雜的三維圖案。

　　目前，準分子激光器有三個(ge) 主要的用途：LASIK眼科手術，平板顯示器退火，和半導體(ti) 微光刻。不過，準分子市場的其他部分也是很重要的，包括了許多不同的加工和行業(ye) ，從(cong) 對眼鏡打標到加工柴油機汽缸套，到電子工業(ye) 中的打孔都使用了該技術。然而，這“三大”主要的應用有專(zhuan) 門的模型，這些模型被優(you) 化以滿足行業(ye) 中已很好確立的性能參數，在大量不同的應用中對激光條件有著廣泛且多樣的要求。這是因為(wei) 對於(yu) 一個(ge) 給定的材料和波長，要進行有效的材料加工就需要在主要的準分子激光性能，脈衝(chong) 能量(對加工對象的影響)，和重複頻率之間得到正確的平衡。

選擇能量還是重複頻率？

　　起初，大部分工業(ye) 準分子激光器的主要特點是：合適的重複頻率處(幾百Hz)，激光脈衝(chong) 能量很高(幾百個(ge) mJ)；或者是高重複頻率(100Hz-2Hz)而能量為(wei) 幾個(ge) mJ。但是，平板顯示器製造中低溫多晶矽(LTPS)退火技術的成熟推進了高重複頻率(達300Hz)、高脈衝(chong) 能量(>1J)激光器的發展，這些技術目前也被用在微加工應用中。例如，可以直接對薄膜進行圖案處理，這主要用於(yu) 電子工業(ye) 。

　　另一個(ge) 重要的方向是節約成本的“迷你”準分子激光器的開發和不斷進步，該激光器提供的激光能量約為(wei) 10mJ，重複頻率最大值為(wei) 幾百個(ge) Hz或者更大，光束高度僅(jin) 為(wei) 9-10mm，整個(ge) 裝置很小。現在，這些激光器運行起來十分劃算，因為(wei) 其主要進步在於(yu) 電極(管)的壽命長，整體(ti) 效率高，補充氣體(ti) 的間隔時間長。此外，這些激光器使用的氣體(ti) 量更小，並且可以使用小直徑的光束傳(chuan) 輸裝置。

　　獨特的性能

　　準分子激光器輸出的矩形光束其最大的尺寸可以達到幾個(ge) 厘米。這一特性，與(yu) 準分子激光器的高脈衝(chong) 能量和低重複頻率相結合，使得準分子激光器很適合與(yu) 光掩膜技術結合在大範圍內(nei) 加工得到大量重複的圖案。與(yu) 此相反，由許多固態激光器得到的光束通常被聚焦成小光斑，並用振鏡進行掃描。這個(ge) 技術被稱為(wei) 直接寫(xie) 入法，直接寫(xie) 入法具有的點狀的本質讓它具有特有的應用範圍，比如，圓晶的劃線和晶粒的切割。然而，直接寫(xie) 入式微加工其劣勢在於(yu) ，它無法以固定的深度來去除較大麵積的材料，因為(wei) 小光束的逐行掃描會(hui) 留下刻痕。