2月27日，上海光機所信息光學與(yu) 光電技術實驗室組織專(zhuan) 家對德國耶拿Friedrich-Schiller大學教授Frank Wyrowski承擔的“中國科學院外國專(zhuan) 家特聘研究員”項目進行了同行評議。與(yu) 會(hui) 專(zhuan) 家聽取了Frank Wyrowski教授對合作項目的進展報告，經過討論，一致認為(wei) ：Frank Wyrowski教授在上海光機所的兩(liang) 個(ge) 月期間，結合基於(yu) 場追跡的光學仿真軟件VirtualLab，對光刻機照明係統關(guan) 鍵元件的設計與(yu) 係統仿真工作起到了重要的推動作用。評議專(zhuan) 家組認為(wei) 該項目組已完成了預期研究內(nei) 容，達到了預期研究目標. 

　　在Frank Wyrowski教授的指導下，項目組確定了照明係統的仿真目標和基本模型，提出了介於(yu) 光線追跡和場追跡之間的混合仿真方法；研究了提高衍射光學元件效率的設計方法，通過降低信噪比使效率提高約3%。麵向相關(guan) 技術人員，Frank Wyrowski教授舉(ju) 辦了以“場追跡技術和應用”為(wei) 主題的4次係列學術報告。該項目促進了雙方的學術交流，為(wei) 雙方深化合作研究奠定了堅實的基礎。