氦氖激光器由於(yu) 具有結構簡單、放電平穩、單色性高、光束質量好、功率噪聲低、台與(yu) 台重複性好、相幹長度能達幾公裏等特點,獲得了檢測之王的美譽。
氦氖激光器的輸出譜線從(cong) 綠光一直延伸到近紅外光,由於(yu) 紅光在所有的可見光譜線中增益最強,因此最先獲得商品化,而綠光在氦氖激光器的所有可見光譜線中增益最低,僅(jin) 為(wei) 紅光增益的幾十分之一,所以它的商品化遲遲未獲得成功,其中最大的困難是研製能抑製其它譜線的極低損耗綠光反射鏡。
相對於(yu) 紅光氦氖激光器而言,綠光氦氖激光器具有三個(ge) 獨特的優(you) 點:一是人的視覺對綠光最敏感,因此在準直、監測、顯示和藝術布景等應用中選用綠光具有優(you) 勢,同時由於(yu) 紅光易於(yu) 血液混淆,綠光氦氖激光器更適合激光醫學領域的應用;二是氦氖綠光譜線的波長較短,且具有很好的穩定性與(yu) 再現性,因此在長度標準、相幹測量、粒子計數、激光打印、指紋檢驗等領域比紅光更具有優(you) 勢;三是由於(yu) 綠光在海水中的損耗遠低於(yu) 紅光,綠光氦氖激光器在水中照明、深海通信等領域具有潛在的應用前景。
美國經過二十多年的研究,將激光陀螺的鍍膜技術推廣到多色氦氖激光器的反射鏡製備,終於(yu) 在1985年推出了全內(nei) 腔綠光氦氖激光器產(chan) 品,一年後德國也推出了相關(guan) 產(chan) 品。俄羅斯亦曾研製過全內(nei) 腔綠光氦氖激光器,由於(yu) “技術太複雜”,沒有成功。我國多家單位在1987年也實現綠光氦氖激光振蕩,但都是外腔式結構,不便在實際使用。雖然之後經多個(ge) 單位努力攻關(guan) ,但一直沒有實現全內(nei) 腔氦氖激光器的綠光輸出,更談不上商品化。
國防科技大學在研製激光陀螺的過程中,對其中的頭號關(guan) 鍵技術薄膜光學進行了長期深入的理論研究與(yu) 工藝摸索,設計出了全內(nei) 腔綠光氦氖激光器反射鏡的多層膜結構方案,並研製了專(zhuan) 門的測量儀(yi) 器紅外DF透反儀(yi) ,做好了充足準備。終於(yu) 在1994年,激光陀螺反射膜的攻關(guan) 取得重大突破,在積累相當的工藝經驗後,立即用相同的鍍膜工藝,按理論設計方案製備極低損耗的綠光反射鏡,一舉(ju) 研製出全內(nei) 腔綠光氦氖激光器,其主要技術指標達到國際先進水平,使我國成為(wei) 繼美、德之後第三個(ge) 擁有這種高性能激光器製造技術的國家。
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