國產光學平台問世，性能達國際一流

誰說光學平台隻有國外的好。

我們也有自己的光學平台了，

性能不輸國際一流品牌。

2003年，中國科學院上海光學精密機械研究所聯合實驗室引進了一台Zigo24”TF幹涉儀，在做市場調研選購支撐平台時發現，國外光學平台產品價格昂貴，而國產光學平台魚目混珠。

於是基於聯合實驗室深厚的光學儀器研製技術基礎上，在朱健強研究員的帶領下自主研製了精密光學平台係統GS4815M-52-SAT-850，恒溫粘接成型的蜂窩芯光學平台，台麵尺寸L4800 x B1500 x H520，雙氣室氣浮隔振支撐SAT160，台麵總高度850 mm。

利用Zigo24”TF幹涉儀的軟件自測幹涉儀主透鏡和標準鏡之間的多自由度振動導致的光程差，相對振幅小於±20 nm，大於5 Hz外界振動98%隔除，滿足大口徑Zigo24”（ Ø600 mm）幹涉儀的隔振需求，該光學平台係統在上海光機所聯合實驗室光學檢測課題組使用至今，性能優良穩定。

zigo 24″TF幹涉儀和自主研製的光學平台係統GS4815M-52-SAT-850

zigo 24″TF幹涉儀自帶軟件測量環境振動對主透鏡和標準鏡之間的多自由度振動導致的光程差位移，包括幹涉儀主鏡和標準鏡形變誤差及其調整架裝校應變，左圖為時域圖，誤差幅值小於±20 nm，右圖為頻域圖，將大於5 Hz的外界振動98%隔除。

光學平台隔振係統的構成

課題組研製的潔淨光學平台由上下麵板、蜂窩內芯和U型清潔艙采用低溫恒溫粘接而成，溫度應變小。

鋼質蜂窩內芯采用垂向支撐桁架蜂窩結構，U型清潔艙與蜂窩芯六邊形內壁相配合內嵌在蜂窩孔中，蜂窩孔六邊形板直接粘結到上麵板，U型清潔艙用蜂窩夾層板頂著粘接在上麵板，增加縱向支撐靜剛度，具有高剛度-重量比，可顯著提高平台的基頻模態固有頻率，有效延長光學平台類剛體低頻率段範圍。

蜂窩芯縱向層狀約束阻尼和四周阻尼板形成的寬帶阻尼有效減弱寬頻帶隨機振動能量，大幅降低平台麵板各階模態固有頻率共振形變幅值。

平台麵板具有優良的潔淨性能，上、下麵板均采用防鏽的磁性不鏽鋼，上麵板與蜂窩芯粘接前後都進行嚴格的潔淨清洗流程，保證麵板螺孔和U型清潔艙無油汙、碎屑殘留，U型清潔艙能有效防止蜂窩芯板腐蝕，U型通道將相鄰兩個螺孔連通，便於製造時用高壓氣槍和工作時用吸塵器清潔掉落在艙內的灰塵碎屑等汙染物。

專利技術的潔淨光學平台，U型清潔艙內嵌在蜂窩芯六邊形內壁，蜂窩芯和上麵板直接粘接，U型清潔艙將兩個螺孔連通，便於清潔螺孔底部灰塵。

光學平台隔振係統的性能參數

使用DASP多通道振動測試儀測量光學平台的振動響應，繪製柔度曲線，並與國外著名品牌的同規格光學平台麵板測量結果比對：自主研製的光學平台，模態固有頻率更高，共振峰響應幅更低，光學平台的性能達到國際一流水平。

使用DASP多通道振動分析儀，測量3 mx1.5 mx0.2 m光學平台的柔度曲線

課題組研製的氣浮支撐采用雙氣室、層流阻尼孔提高隔振阻尼比。其垂直固有頻率為1.0～2.0 Hz，水平固有頻率為1.2～2.5 Hz。

用多通道振動分析儀實測Zigo24”幹涉儀光學平台的隔振性能，垂向固有頻率為1.5 Hz，水平固有頻率0.7 Hz，測量結果與Zigo24”幹涉儀軟件的測量結果完美契合一致，大於5 Hz的隨機振動98%隔離，氣浮隔振支撐的性能也達到國際一流水平。

zigo 24″TF幹涉儀光學平台的垂向隔振性能，利用DASP多通道振動測試儀測量，上圖為時域圖，下圖為頻域圖，外界振動在4 s後98%衰減，氣浮支撐的垂向固有頻率為1.5 Hz。

zigo 24″TF幹涉儀光學平台的水平隔振性能，利用DASP多通道振動測試儀測量，上圖為時域圖，下圖為頻域圖，外界振動在4 s後98%衰減，氣浮支撐的水平固有頻率為1.5 Hz。

多年來根據需求，聯合室研製了多種規格的光學平台和隔振支撐，光學平台有鋁合金麵板和不鏽鋼麵板，光學試驗要求長光學距離和單光源大係統試驗時，可選用剛性連接組合平台，以及開孔、台階等特殊需求的OEM平台。氣浮支撐根據承重分為25 kg、100 kg、500 kg、1 T和2 T共5種規格。

高精度顯微鏡，SEM電鏡超薄桌麵型氣浮隔振平台係統，內嵌4個承重30 kg/個的氣浮支撐。

超薄桌麵型氣浮隔振平台小型氣浮支撐

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