日本尼康研製的FX-75S(85S)LCD用曝光機,是液晶麵板生產(chan) 線中,薄膜晶體(ti) 管光刻技術的核心設備。每台占地麵積11×15米,生產(chan) 節奏為(wei) 60秒每片。京東(dong) 方8.5代線共采購了16台FX-85S曝光機,單台價(jia) 格估計接近2億(yi) 元人民幣。
目前全球LCD曝光機市場被日本尼康和佳能壟斷,2009年Nikon出貨45台,Canon出貨38台。隨著中國LCD產(chan) 業(ye) 規模迅速擴大,我國企業(ye) 必須竭盡全力,在設備、原材料配套領域建立起自主體(ti) 係。隻有具備全產(chan) 業(ye) 鏈競爭(zheng) 力的國家,才能在激烈的市場搏殺中,立於(yu) 不敗之地。
8.5代線傳(chuan) 送設備幅寬大於(yu) 玻璃基板,10代線同樣如此,傳(chuan) 送3,000mm* 3400mm*0.5mm第11代玻璃基板也行。
尼康第10世代2880*3130mm液晶曝光裝置 FX-101S可小幅度改動為(wei) 第11世代液晶曝光裝置。
目前全球LCD曝光機市場被日本尼康和佳能壟斷,2009年Nikon出貨45台,Canon出貨38台。隨著中國LCD產(chan) 業(ye) 規模迅速擴大,我國企業(ye) 必須竭盡全力,在設備、原材料配套領域建立起自主體(ti) 係。隻有具備全產(chan) 業(ye) 鏈競爭(zheng) 力的國家,才能在激烈的市場搏殺中,立於(yu) 不敗之地。
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