閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
今日要聞

佳能公司計劃量產200mm/300mm激態原子激光掃描器

來源:激光製造商情2014-10-22 我要評論(0 )   

佳能美國公司近日表示:其半導體(ti) 設備分部計劃在2001年大規模生產(chan) FPA-5000AS2產(chan) 品,即第二代200mm/300mm ArF激態原子激光掃描'激

 佳能美國公司近日表示:其半導體設備分部計劃在2001年大規模生產FPA-5000AS2產品,即第二代200mm/300mm ArF激態原子激光掃描'>激光掃描器。公司FPA-5000AS1產品中的第一代300mm ArF已於去年起在SELETE中使用。佳能公司表示目前正在擴大生產線,以便能適應半導體業的快速發展,並開發用於0.13微米以下電路圖成像的蝕刻工具。佳能公司將在日本宇都宮光學廠生產新掃描器。公司最近在該廠投資,以擴大其光刻掃描器和平板顯示的鏡麵投影校準器的生產能力。宇都宮工廠同時也是新建成的182,800平方英尺佳能光學研發基地。

     為(wei) 了滿足ArF激態原子激光掃描器的巨大需求,佳能公司還計劃新建一個(ge) 工廠以增加氟化鈣(CaF2)透鏡原料的供應。佳能公司在Yuuki 市 Ibaragi縣征地9公頃,開始建設一個(ge) 107500平方英尺的工廠,準備在2001年中期生產(chan) 出CaF2玻璃。工廠將安裝一個(ge) 電子熔爐以去除鈣氟化物礦石中的雜質,佳能預計投資將達到四千萬(wan) 美元(40億(yi) 日元)。

轉載請注明出處。

免責聲明

① 凡本網未注明其他出處的作品,版權均屬於(yu) fun88网页下载,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。獲本網授權使用作品的,應在授權範圍內(nei) 使 用,並注明"來源:fun88网页下载”。違反上述聲明者,本網將追究其相關(guan) 責任。
② 凡本網注明其他來源的作品及圖片,均轉載自其它媒體(ti) ,轉載目的在於(yu) 傳(chuan) 遞更多信息,並不代表本媒讚同其觀點和對其真實性負責,版權歸原作者所有,如有侵權請聯係我們(men) 刪除。
③ 任何單位或個(ge) 人認為(wei) 本網內(nei) 容可能涉嫌侵犯其合法權益,請及時向本網提出書(shu) 麵權利通知,並提供身份證明、權屬證明、具體(ti) 鏈接(URL)及詳細侵權情況證明。本網在收到上述法律文件後,將會(hui) 依法盡快移除相關(guan) 涉嫌侵權的內(nei) 容。

網友點評
0相關評論
精彩導讀