栃木縣小山市----半導體光刻光源的主要生產廠商Gigaphoton株式會社（總公司地址: 栃木縣小山市，董事長兼總經理: 都丸仁）發布消息說：該公司已經利用可靠性較高的半導體光刻用準分子激光器成功開發了一種“GIGANEX”係列退火裝置專用的準分子激光器，該裝置搭載於株式會社V Technology【7717（東證1部）】的微型激光退火裝置上，用於大型液晶製造設備工廠的LTPS（低溫多晶矽）的生產。
近年來，為了將在半導體光刻用準分子激光器領域長期積累的技術應用到其他領域，Gigaphoton一直在推進用於FPD製造領域a-Si（非晶矽）膜的微型激光退火工序的準分子激光器的開發工作，並將開發成功的新型準分子激光器“GIGANEX”的試製機交付給了麵板生產廠商。 在2016年5月22-27日於美國舉辦的Display Week 2016上展出了試製麵板，引起了巨大轟動。
該“GIGANEX”係列退火裝置專用的準分子激光器係V Technology公司生產的裝置的專用機，是作為微型激光退火工序的光源開發的。微型激光退火裝置的特點是，導入現有的a-Si麵板的製造工序後，使a-Si結晶成p-Si（多晶矽），可以製造8K等規格的高精細麵板，這是憑借以前的a-Si工藝所不可能實現的。另外，PLAS還適合於采用以往的激光退火工序難以實現的大型麵板規格，並且也可以適用於製造的50~70英寸的電視麵板的大型液晶製造設備工廠。
Gigaphoton董事長、總經理兼首席執行官都丸仁先生說：“本公司麵向新領域的準分子激光器GIGANEX已經在FPD業界登場。能夠為麵板生產廠商的LTPS TFT液晶麵板的試製成功做出貢獻，我們感到由衷的高興。今後GIGANEX將成為FPD製造領域嶄新的解決方案，我們期待著它能夠為業界做出貢獻。”
關於GIGANEX
新型準分子激光器“GIGANEX”是Gigaphoton公司充分利用長期以來在半導體光刻用準分子激光器領域積累的技術實力開發而成，是準分子激光器的一個新品牌，麵向FPD製造、柔性設備工藝及光刻以外的半導體製造等領域。該公司將不斷與合作夥伴共同開展創新，探索準分子激光器更深層次的可能性，並提供GIGANEX的解決方案。
關於Gigaphoton
自2000年成立以來，Gigaphoton作為一家激光器供應商一直在為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。從研發到製造、銷售及維護服務，Gigaphoton承諾時刻站在用戶的角度提供業界最高水準的技術支持。
近年來，為了將在半導體光刻用準分子激光器領域長期積累的技術應用到其他領域，Gigaphoton一直在推進用於FPD製造領域a-Si（非晶矽）膜的微型激光退火工序的準分子激光器的開發工作，並將開發成功的新型準分子激光器“GIGANEX”的試製機交付給了麵板生產廠商。 在2016年5月22-27日於美國舉辦的Display Week 2016上展出了試製麵板，引起了巨大轟動。
該“GIGANEX”係列退火裝置專用的準分子激光器係V Technology公司生產的裝置的專用機，是作為微型激光退火工序的光源開發的。微型激光退火裝置的特點是，導入現有的a-Si麵板的製造工序後，使a-Si結晶成p-Si（多晶矽），可以製造8K等規格的高精細麵板，這是憑借以前的a-Si工藝所不可能實現的。另外，PLAS還適合於采用以往的激光退火工序難以實現的大型麵板規格，並且也可以適用於製造的50~70英寸的電視麵板的大型液晶製造設備工廠。
Gigaphoton董事長、總經理兼首席執行官都丸仁先生說：“本公司麵向新領域的準分子激光器GIGANEX已經在FPD業界登場。能夠為麵板生產廠商的LTPS TFT液晶麵板的試製成功做出貢獻，我們感到由衷的高興。今後GIGANEX將成為FPD製造領域嶄新的解決方案，我們期待著它能夠為業界做出貢獻。”
關於GIGANEX
新型準分子激光器“GIGANEX”是Gigaphoton公司充分利用長期以來在半導體光刻用準分子激光器領域積累的技術實力開發而成，是準分子激光器的一個新品牌，麵向FPD製造、柔性設備工藝及光刻以外的半導體製造等領域。該公司將不斷與合作夥伴共同開展創新，探索準分子激光器更深層次的可能性，並提供GIGANEX的解決方案。
關於Gigaphoton
自2000年成立以來，Gigaphoton作為一家激光器供應商一直在為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。從研發到製造、銷售及維護服務，Gigaphoton承諾時刻站在用戶的角度提供業界最高水準的技術支持。
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